一种ITO靶材注浆成型工艺的浆料的制备方法

    公开(公告)号:CN112608143A

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN202110070023.X

    申请日:2021-01-19

    Applicant: 福州大学

    Inventor: 李强 李康

    Abstract: 本发明涉及一种光电材料的制备成型领域,具体涉及一种ITO靶材注浆成型工艺的浆料的制备方法。本发明通过机械混合、气流粉碎、砂磨和真空处理四个步骤将氧化和氧化锡粉末制备成ITO浆料,所得到的ITO浆料可以直接用于ITO靶材的制备加工。本发明方法具有制备时间短、浆料污染小、制得的浆料粉体粒径范围小等优点。

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