公开(公告)号：CN105136868B

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201510493459.4

申请日：2015-08-13

Applicant: 福州大学

Inventor： 戴文新 ,  彭小英 ,  陈旬 ,  员汝胜 ,  付贤智

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明公开了一种TiO2薄膜光助气敏元件及其制备方法和应用。将钛酸异丙酯溶于乙醇中，在金叉指电极片上原位生长得到均匀致密的二氧化钛薄膜气敏元件。与常规的滴覆法相比，该方法制得的气敏元件在紫外光作用下显示出较佳的H2和丙酮气体的响应性能，并表现出良好的稳定性和重复性。该方法简单易行，在制备半导体光助气敏传感器方面具有较好的应用前景。

公开(公告)号：CN105136868A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510493459.4

申请日：2015-08-13

Applicant: 福州大学

Inventor： 戴文新 ,  彭小英 ,  陈旬 ,  员汝胜 ,  付贤智

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明公开了一种TiO2薄膜光助气敏元件及其制备方法和应用。将钛酸异丙酯溶于乙醇中，在金叉指电极片上原位生长得到均匀致密的二氧化钛薄膜气敏元件。与常规的滴覆法相比，该方法制得的气敏元件在紫外光作用下显示出较佳的H2和丙酮气体的响应性能，并表现出良好的稳定性和重复性。该方法简单易行，在制备半导体光助气敏传感器方面具有较好的应用前景。