微型流体控制装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107023456A

    公开(公告)日:2017-08-08

    申请号:CN201610801486.8

    申请日:2016-09-05

    IPC分类号: F04B43/04

    CPC分类号: F04B43/046

    摘要: 一种微型流体控制装置,包括堆叠设置的进气板、共振片以及压电致动器,其中进气板具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部;共振片具有中空孔洞;压电致动器具有悬浮板、外框及压电陶瓷板;其中共振片与压电致动器之间具有一间隙形成的第一腔室,当压电致动器受驱动时,气体由该进气板的该至少一进气孔导入,经该至少一汇流排孔汇集至该中心凹部,再流经该共振片的该中空孔洞,以进入该第一腔室内,再由该压电致动器向下传输持续推出气体。

    微型流体控制装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107023459B

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN201610801357.9

    申请日:2016-09-05

    IPC分类号: F04B45/047 H02N2/02

    摘要: 一种微型流体控制装置,包括堆叠设置的进气板、共振片以及压电致动器,其中进气板具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及构成一汇流腔室的一中心凹部;共振片具有中空孔洞;压电致动器具有悬浮板、外框及压电陶瓷板;其中共振片与压电致动器之间具有一间隙形成的第一腔室,当压电致动器受驱动时,气体由该进气板的该至少一进气孔导入,经该至少一汇流排孔汇集至该中心凹部,再流经该共振片的该中空孔洞,以进入该第一腔室内,再由该压电致动器向下传输持续推出气体。