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公开(公告)号:CN102933520B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201180028274.6
申请日:2011-05-24
Applicant: 电气化学工业株式会社
IPC: C04B35/581
CPC classification number: H01B3/025 , C04B35/581 , C04B35/645 , C04B35/6455 , C04B2235/3205 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/386 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6565 , C04B2235/658 , C04B2235/661 , C04B2235/786 , C04B2235/85 , C04B2235/87 , C04B2235/9607 , H01B19/00 , H01L23/15 , H01L2924/0002 , H05K1/0306 , Y10T428/268 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种电路基板用氮化铝基板,具有平均粒径为2~5μm的氮化铝晶粒,热导率为170W/m·K以上,在本发明的电路基板用氮化铝基板中,不含枝状晶界相,且在400°C下的击穿电压为30kV/mm以上。此外,本发明还提供一种电路基板用氮化铝基板的制造方法,具备下述工序:将含有氮化铝粉末的原料在压力150Pa以下加热到1500°C,然后,利用非氧化性气体,在压力为0.4MPa以上的加压气氛下升温到1700~1900°C并进行保持,然后以10°C/分钟以下的冷却速度冷却到1600°C。
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公开(公告)号:CN102933520A
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201180028274.6
申请日:2011-05-24
Applicant: 电气化学工业株式会社
IPC: C04B35/581
CPC classification number: H01B3/025 , C04B35/581 , C04B35/645 , C04B35/6455 , C04B2235/3205 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3225 , C04B2235/386 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6565 , C04B2235/658 , C04B2235/661 , C04B2235/786 , C04B2235/85 , C04B2235/87 , C04B2235/9607 , H01B19/00 , H01L23/15 , H01L2924/0002 , H05K1/0306 , Y10T428/268 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种电路基板用氮化铝基板,具有平均粒径为2~5μm的氮化铝晶粒,热导率为170W/m·K以上,在本发明的电路基板用氮化铝基板中,不含枝状晶界相,且在400°C下的击穿电压为30kV/mm以上。此外,本发明还提供一种电路基板用氮化铝基板的制造方法,具备下述工序:将含有氮化铝粉末的原料在压力150Pa以下加热到1500°C,然后,利用非氧化性气体,在压力为0.4MPa以上的加压气氛下升温到1700~1900°C并进行保持,然后以10°C/分钟以下的冷却速度冷却到1600°C。
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