公开(公告)号：CN114276682A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202111128120.6

申请日：2021-09-26

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 黄文 ,  蒋翠翠 ,  孙润宁 ,  严博远 ,  龚天巡 ,  张杨 ,  张晓升

IPC: C08L83/04 ,  C08K3/08 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提出一种基于局域表面等离激元的双面感光探测器及制备方法，包括：下层的镶嵌有金纳米颗粒的聚二甲基硅氧烷（PDMS），金纳米颗粒在入射光照下产生局域表面等离激元；中间层的二维材料，可将吸收的入射光子转化成载流子；上层的氧化铟锡（ITO）和玻璃，ITO做二维材料的电极，玻璃做ITO的载体；本发明通过将金纳米颗粒镶嵌在PDMS里，并将PDMS与二维材料贴附在一起，增加金纳米颗粒与二维材料的粘附性，使后期的封装过程更简单。本发明在结构设计上将二维材料设计为可以从上下两面接受入射光，提高了器件的光电探测性能。