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公开(公告)号：CN113639776A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110958390.3
申请日：2021-08-20
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本发明提供一种基于石墨烯机械振子高温传感器及工作方法，石墨烯机械振子包括图案化的衬底和石墨烯，构成光学谐振腔；石墨烯机械振子高温传感器包括光学谐振腔、探测激光源、驱动激光源、光纤准直器、透镜、精密针孔、高反镜、半波片、四分之一波片、偏振分束器、电光调制器、照明光源、CCD相机、光电探测器、锁相放大器；相比于传统传感器，本发明所述的石墨烯传感器具有制备工艺简单、体积小、质量小、谐振频率高、品质因子高和灵敏度高等优点，且在高温下也具有良好的稳定性。体量轻便、灵敏度高、耐高温特性的石墨烯机械振子传感器在现代精密测量领域有着广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN114679152A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210299706.7
申请日：2022-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种动态可调的石墨烯声子波导及制备方法和工作方法，包括衬底上周期性排列的电极、石墨烯悬浮凹槽及悬浮于其上的石墨烯薄膜。向栅极施加直流电压，对石墨烯产生静电力，从而调节石墨烯的弹簧常数，使其谐振模式被调控，实现静电感应声子晶体。每个石墨烯声子波导单元可被其对应的栅极独立调节，从而改变相应声子色散关系，调整能带结构，使声子带隙被动态调控。相比于其他声子波导装置，本发明所述石墨烯声子波导可灵活动态调节，有望在信号处理、波形工程、噪声防治等领域中有重要应用。
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公开(公告)号：CN114460766A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210300748.8
申请日：2022-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种实现机械模式双模压缩的工作方法及装置。采用石墨烯机械振子实现机械模式双模压缩，直流偏置施加于石墨烯机械振子的栅极，其谐振模式相应被调控。调节偏置电压，使二者谐振模式耦合，通过偏置器将和频泵浦与直流电压共同施加至石墨烯机械振子的栅极以实现机械模式的双模压缩。相比于其他方法及装置，本发明所述实现机械模式双模压缩的石墨烯机械振子除了具有体积小、质量轻等优点，其谐振模式具有广泛的调控范围，且具有较高的谐振频率，可灵活适应于微波射频领域的应用。实现机械模式双模压缩可应用于精密测量、声子信息器件、量子通信等技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114679152B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202210299706.7
申请日：2022-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种动态可调的石墨烯声子波导及制备方法和工作方法，包括衬底上周期性排列的电极、石墨烯悬浮凹槽及悬浮于其上的石墨烯薄膜。向栅极施加直流电压，对石墨烯产生静电力，从而调节石墨烯的弹簧常数，使其谐振模式被调控，实现静电感应声子晶体。每个石墨烯声子波导单元可被其对应的栅极独立调节，从而改变相应声子色散关系，调整能带结构，使声子带隙被动态调控。相比于其他声子波导装置，本发明所述石墨烯声子波导可灵活动态调节，有望在信号处理、波形工程、噪声防治等领域中有重要应用。
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公开(公告)号：CN114659625A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210264577.8
申请日：2022-03-17
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于石墨烯机械振子的性能可调辐射热计及制备方法，包括如下结构：绝缘衬底；衬底上有两根接触电极，支撑一根石墨烯条带形成悬空的石墨烯机械振子，同时这两根接触电极可作为源漏电极输入与输出驱动和探测信号；悬空的机械振子下方有一根门控电极，可用于振子的驱动和调控。机械振子辐射热计可通过电学或光学的方法对振子的谐振频率进行实时的监测，通过光辐射下的频移响应实现对辐射强度的传感。由于石墨烯的吸收特性，本发明可用于中远红外及太赫兹波段的光电探测，且兼具高传感灵敏度与响应速度；结构简单且性能灵活可调，因此得以在长时间内保持性能稳定，并能适应从常温到极低温各种温度环境的测试需求。
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公开(公告)号：CN114659625B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202210264577.8
申请日：2022-03-17
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于石墨烯机械振子的性能可调辐射热计及制备方法，包括如下结构：绝缘衬底；衬底上有两根接触电极，支撑一根石墨烯条带形成悬空的石墨烯机械振子，同时这两根接触电极可作为源漏电极输入与输出驱动和探测信号；悬空的机械振子下方有一根门控电极，可用于振子的驱动和调控。机械振子辐射热计可通过电学或光学的方法对振子的谐振频率进行实时的监测，通过光辐射下的频移响应实现对辐射强度的传感。由于石墨烯的吸收特性，本发明可用于中远红外及太赫兹波段的光电探测，且兼具高传感灵敏度与响应速度；结构简单且性能灵活可调，因此得以在长时间内保持性能稳定，并能适应从常温到极低温各种温度环境的测试需求。
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公开(公告)号：CN113639776B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202110958390.3
申请日：2021-08-20
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 本发明提供一种基于石墨烯机械振子高温传感器及工作方法，石墨烯机械振子包括图案化的衬底和石墨烯，构成光学谐振腔；石墨烯机械振子高温传感器包括光学谐振腔、探测激光源、驱动激光源、光纤准直器、透镜、精密针孔、高反镜、半波片、四分之一波片、偏振分束器、电光调制器、照明光源、CCD相机、光电探测器、锁相放大器；相比于传统传感器，本发明所述的石墨烯传感器具有制备工艺简单、体积小、质量小、谐振频率高、品质因子高和灵敏度高等优点，且在高温下也具有良好的稳定性。体量轻便、灵敏度高、耐高温特性的石墨烯机械振子传感器在现代精密测量领域有着广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN114993360A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210634495.8
申请日：2022-06-07
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种通过声子相干性进行精密测量的方法与装置，其目的在于通过微纳加工工艺，制备一种通过声子相干性进行精密测量的装置。本发明提供一种通过声子相干性进行精密测量的方法与装置，对于两个串联的机械振子而言，调节谐振频率，使二者发生强耦合，通过微波驱动能量较低的机械振子，使系统产生拉比振荡，不同微波驱动强度会导致拉比振荡时间的改变。在实际的应用中，泵浦能量由外界环境或参数的改变提供，其能量大小能够导致相干时间的改变，以此实现精密测量。相比于其他进行精密测量的装置，本发明所述通过声子相干性进行精密测量的装置灵敏度高，有望在质量位移传感器、量子信息等领域中有重要应用。
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