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公开(公告)号：CN116773479A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310758227.1
申请日：2023-06-26
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 本发明属于气体传感器领域，提供一种双抛物柱面结构的微型气体传感器腔室，用以实现微型气室中的双通道探测，适用于平行光源与非平行光源，能够增强光传输效率并实现光程增加，从而提高气体传感器的性能。本发明包括：上层基片1与下层基片2，二者连接后于内部形成U形气室，U形气室一端为红外光源窗口3，另一端呈分支状、分别为参考红外探测器窗口4与测量红外探测器窗口5，且红外光源窗口处设置双抛物柱面结构，红外光源垂直设置于红外光源窗口。本发明通过U形气室以及红外光源窗口处双抛物柱面结构设计，提升红外光利用率及红外光传输效率，延长红外光传输路径，进而显著提高红外气体传感器的探测灵敏度。
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