公开(公告)号：CN103336053B

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201310241518.X

申请日：2013-06-18

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 杜晓松 ,  邱栋 ,  吴朋林 ,  林庆浩 ,  蒋亚东

IPC: G01N29/036

Abstract: 本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室中，沿气流方向，测量传感器和参比传感器分别排成两列，处于气流对等位置的测量传感器和参比传感器组成1对，由电路混频后输出n个差频信号。本发明的测量传感器和参比传感器由于处于气流温场的等温点上，能够有效地降低环境温度波动对传感器阵列响应的影响。

公开(公告)号：CN103499640A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310449724.X

申请日：2013-09-27

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 杜晓松 ,  王洋 ,  刘洋 ,  林庆浩 ,  龙吟 ,  蒋亚东

IPC: G01N29/036

Abstract: 一种苯乙烯声表面波气敏传感器，属于传感器件技术领域。本发明以聚[甲基(4-羟基-4,4-双-三氟代甲基)-丙基]-硅氧烷为聚合物气敏材料，将所述聚合物气敏材料成膜于声表面波器件表面，得到苯乙烯声表面波气敏传感器。本发明具有对苯乙烯气体的灵敏度高、选择性好、响应速度快、解吸彻底和重复性好的特点。

公开(公告)号：CN103336053A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201310241518.X

申请日：2013-06-18

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 杜晓松 ,  邱栋 ,  吴朋林 ,  林庆浩 ,  蒋亚东

IPC: G01N29/036

Abstract: 本发明公开了一种独用参比的声表面波气体传感器阵列，包括n个测量传感器和n个参比传感器，还包括一个具有2n个振荡回路的传感器阵列电路板和由一个气罩紧扣在电路板上而构成的气室，n个测量传感器和n个参比传感器同时安装在所述气室中，沿气流方向，测量传感器和参比传感器分别排成两列，处于气流对等位置的测量传感器和参比传感器组成1对，由电路混频后输出n个差频信号。本发明的测量传感器和参比传感器由于处于气流温场的等温点上，能够有效地降低环境温度波动对传感器阵列响应的影响。

公开(公告)号：CN103147055A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201310067830.1

申请日：2013-03-04

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 杜晓松 ,  林庆浩 ,  邱栋 ,  蒋亚东

IPC: C23C14/35

Abstract: 一种直列多靶磁控溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。系采用长宽比大于3的矩形溅射靶，在箱式真空室中，将3个以上的矩形溅射靶平行共轴排成一列，所有靶的宽度方向都平行于真空室的长边，靶间距小于矩形靶宽度的2倍。矩形溅射靶上方设置有直线运动结构，基片架和基片加热器固定于直线运动机构之上，并在步进电机的驱动下沿真空室的长边作直线往复运动，直线往复运动的起始点、终止点和运动速度由一个控制器进行编程设置，从而实现单层、多层、周期性重复结构薄膜的制备。该多靶磁控溅射台具有真空室尺寸和靶的尺寸都较小，而所制备的薄膜的均匀面积较大的特点，并且还兼有抽气速度快、镀膜效率高等其他优点。

公开(公告)号：CN203065570U

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201320097577.X

申请日：2013-03-04

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 杜晓松 ,  林庆浩 ,  邱栋 ,  蒋亚东

IPC: C23C14/35

Abstract: 一种直列多靶磁控溅射镀膜装置，涉及溅射镀膜技术领域。系采用长宽比大于3的矩形溅射靶，在箱式真空室中，将3个以上的矩形溅射靶平行共轴排成一列，所有靶的宽度方向都平行于真空室的长边，靶间距小于矩形靶宽度的2倍。矩形溅射靶上方设置有直线运动结构，基片架和基片加热器固定于直线运动机构之上，并在步进电机的驱动下沿真空室的长边作直线往复运动，直线往复运动的起始点、终止点和运动速度由一个控制器进行编程设置，从而实现单层、多层、周期性重复结构薄膜的制备。该多靶磁控溅射台具有真空室尺寸和靶的尺寸都较小，而所制备的薄膜的均匀面积较大的特点，并且还兼有抽气速度快、镀膜效率高等其他优点。