公开(公告)号：CN105675529A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201610040150.4

申请日：2016-01-21

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王玲芳 ,  杨兰 ,  孙豹 ,  陈开鑫

IPC: G01N21/3504

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/08

Abstract: 本发明公开了一种微小型中红外光波导气体传感器，包括气室、入气孔、排气孔、进光孔、出光孔以及光波导；入气孔和排气孔均设置于气室顶端，进光孔和出光孔分别设置于气室相对的两个侧壁上，光波导包括基底和芯层，基底设置于气室底端，芯层设置于基底上并采用分段式结构，进光孔、芯层以及出光孔位于同一直线上。本发明采用分段式光波导结构，并以硫系玻璃作为光波导芯层材料，性能稳定，灵敏度高，体积小，易于集成化、规模化，抗电磁干扰能力强，具有很强的实际应用价值。

公开(公告)号：CN105675529B

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201610040150.4

申请日：2016-01-21

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王玲芳 ,  杨兰 ,  孙豹 ,  陈开鑫

IPC: G01N21/3504

Abstract: 本发明公开了一种微小型中红外光波导气体传感器，包括气室、入气孔、排气孔、进光孔、出光孔以及光波导；入气孔和排气孔均设置于气室顶端，进光孔和出光孔分别设置于气室相对的两个侧壁上，光波导包括基底和芯层，基底设置于气室底端，芯层设置于基底上并采用分段式结构，进光孔、芯层以及出光孔位于同一直线上。本发明采用分段式光波导结构，并以硫系玻璃作为光波导芯层材料，性能稳定，灵敏度高，体积小，易于集成化、规模化，抗电磁干扰能力强，具有很强的实际应用价值。