一种超快响应氢气传感器集成结构的使用方法

    公开(公告)号:CN118090838B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410489655.3

    申请日:2024-04-23

    Abstract: 本发明提供了一种超快响应氢气传感器集成结构的使用方法,属于气体传感器技术领域,包括气路腔室,固定于气路腔室进气口的抽气装置,以及位于气路腔室内部的第一氢气传感器和第二氢气传感器;抽气装置与第一氢气传感器、第二氢气传感器位于同一直线;第一氢气传感器和第二氢气传感器各有A端口和B端口,在第一氢气传感器的A端口和第二氢气传感器的B端口施加固定电压,并将第一氢气传感器的B端口与第二氢气传感器的A端口相连,以此共用端口作为电压输出端。本发明利用氢气到达两个氢气传感器的时间差,结合电路采集电压差分信号,实现氢气快速响应和浓度快速检测,检测时间更短,极大提升了氢气响应速度。

    一种超快响应氢气传感器集成结构

    公开(公告)号:CN118090838A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410489655.3

    申请日:2024-04-23

    Abstract: 本发明提供了一种超快响应氢气传感器集成结构,属于气体传感器技术领域,包括气路腔室,固定于气路腔室进气口的抽气装置,以及位于气路腔室内部的第一氢气传感器和第二氢气传感器;抽气装置与第一氢气传感器、第二氢气传感器位于同一直线;第一氢气传感器和第二氢气传感器各有A端口和B端口,在第一氢气传感器的A端口和第二氢气传感器的B端口施加固定电压,并将第一氢气传感器的B端口与第二氢气传感器的A端口相连,以此共用端口作为电压输出端。本发明利用氢气到达两个氢气传感器的时间差,结合电路采集电压差分信号,实现氢气快速响应和浓度快速检测,检测时间更短,极大提升了氢气响应速度。

    一种三氧化钼的氢气传感器湿度增益膜

    公开(公告)号:CN116773613A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310741382.2

    申请日:2023-06-21

    Abstract: 本发明属于气体传感技术领域,涉及氢气传感器,提供一种三氧化钼的氢气传感器湿度增益膜,进而与钯基氢敏薄膜、衬底共同构成氢气传感器,用以解决现有氢气传感器因环境湿度影响而响应时间缓慢、灵敏度下降等问题。本发明通过热蒸发工艺的设计,于钯基氢敏薄膜表面成功沉积得到厚度为2~10nm且表面形貌呈非连续纳米岛状结构的三氧化钼薄膜以作为湿度增益膜;通过该三氧化钼薄膜在湿度环境下独特的逆向释氢效应,加速氢原子接触钯膜表面活性位点,减弱水分子对钯基氢气传感器响应速度的影响,即在允许氢分子扩散通过至钯基氢敏膜表面的同时将水分子扩散抑制在湿度增益膜表面,最终实现湿度环境下快速检测氢气泄漏的目标。

    基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118671149A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410834599.2

    申请日:2024-06-26

    Abstract: 本发明属于MEMS技术、材料、传感器领域,涉及氢气传感器,具体提供一种基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法,用以实现小型化、加热效率高,响应时间快、控温精确及电路兼容性好的技术目标。本发明中衬底上依次层叠设置的测温电极、测温‑加热电极隔离层、加热电极、加热‑氢敏电极隔离层与氢敏电极共同形成多层重叠结构,将加热电极与其上、下层叠的氢敏电极、测温电极之间设置相同的隔离层,使测温电极与氢敏电极处于同一温度区域,提高加热效率的同时实现精确控温,进而提升钯基微热氢气传感器在不同应用场景的适用性;并且,通过在多层重叠结构开设镂空结构,形成阻热区域,能够进一步提升加热效率,降低器件功耗。

    一种手套式传感器阵列键盘输入方法

    公开(公告)号:CN112748804B

    公开(公告)日:2022-08-16

    申请号:CN202011644369.8

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明属于柔性可穿戴电子领域,公开了一种手套式传感器阵列键盘输入方法。本发明所提供的方法采用压阻型应变传感器阵列,阵列包括三类传感器单元,用于手套式键盘上,将三类传感器单元电阻信号进行阈值分档,档位根据传感器类型与实现功能区分,基于机器学习方法自调节阈值,根据各类传感器档位输出信息组合识别手套式键盘输入值。本发明基于压阻型传感器阵列的手套式键盘输入方法与当今人体输入习惯天然适应、分辨力高,在可穿戴便携式电子设备、智能装备等领域具有广阔的应用前景。

    一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116773609A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310509751.5

    申请日:2023-05-08

    Abstract: 本发明属于气体传感领域,涉及氢气传感器,具体提供一种弹性体拉伸型氢气传感器及其制备方法,用以解决现有Pd基纳米间隙型氢气传感器存在的检测范围有限、检测范围与工艺复杂度相互制约、以及稳定性有待提高等问题。本发明包括:柔性衬底及其正反面设置的Pd基氢敏薄膜与PEI‑rGO多层复合应变敏感薄膜,采用柔性衬底充当其正反面的氢敏薄膜与应变敏感薄膜之间的信号转换媒介,将氢敏薄膜吸氢之后的晶格膨胀应变转换为应变敏感薄膜的电信号输出,实现环境氢气浓度检测。本发明氢气传感器能够不依赖于纳米间隙的开关,在氢敏薄膜较宽膨胀范围内连续工作,得以兼顾较宽的检测范围与较低的工艺复杂度,并显著提升器件的稳定性。

    一种手套式传感器阵列键盘输入方法

    公开(公告)号:CN112748804A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202011644369.8

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明属于柔性可穿戴电子领域,公开了一种手套式传感器阵列键盘输入方法。本发明所提供的方法采用压阻型应变传感器阵列,阵列包括三类传感器单元,用于手套式键盘上,将三类传感器单元电阻信号进行阈值分档,档位根据传感器类型与实现功能区分,基于机器学习方法自调节阈值,根据各类传感器档位输出信息组合识别手套式键盘输入值。本发明基于压阻型传感器阵列的手套式键盘输入方法与当今人体输入习惯天然适应、分辨力高,在可穿戴便携式电子设备、智能装备等领域具有广阔的应用前景。

    一种用于呼吸频次检测的面罩

    公开(公告)号:CN218419849U

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202221395319.5

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本实用新型属于呼吸频次检测领域,具体提供一种用于呼吸频次检测的面罩,用以实现基于湿度传感器的呼吸监测;具体由面罩结构与湿度传感器构成,面罩结构于鼻翼上方开设进气口位、于正对鼻孔位置开设出气口,面罩佩戴于人体口鼻处后,在不影响人体正常吸气的情况下同时收集口鼻呼出气,并使呼出气由出气口垂直吹向湿度传感器,湿度传感器的响应几近达到最大,有利于后续的信号采集,并减少了噪声的影响,进而显著提升人体呼吸频次检测的准确度;并且,湿度传感器固定设置于面罩结构的出气口,保证了人体呼吸频次检测的稳定性;另外,本实用新型还具有结构简单、成本低廉的优点,有利于工业化批量生产,为人体呼吸监测提供了新的方法。

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