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公开(公告)号:CN111504493A
公开(公告)日:2020-08-07
申请号:CN202010328018.X
申请日:2020-04-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明公开了一种柔性温度传感器的制作方法,涉及柔性传感器技术领域,为了解决现有柔性温度传感器的制备过程无法经过高温退火,导致的普遍存在迟滞较大、无法达到高性能的技术问题;本发明的技术方案包括如下步骤:清洗硬质基底、光刻成形、沉积牺牲层和金属层并去除光刻胶、高温退火、制作柔性基底、刻蚀牺牲层。即可得到柔性温度传感器;本发明适用于对温度敏感的柔性可穿戴材料,所制备的柔性温度传感器兼具柔性和强度,先在刚性基片上制作金属温敏电阻,从而进行高温退火,有助于改善金属温敏电阻的硬度,降低残余应力,解决柔性传感器普遍的迟滞较大的难题,同时使金属结构更加稳定,消除组织缺陷,从而提高柔性温度传感器的整体性能。
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公开(公告)号:CN111504493B
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN202010328018.X
申请日:2020-04-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K7/18
Abstract: 本发明公开了一种柔性温度传感器的制作方法,涉及柔性传感器技术领域,为了解决现有柔性温度传感器的制备过程无法经过高温退火,导致的普遍存在迟滞较大、无法达到高性能的技术问题;本发明的技术方案包括如下步骤:清洗硬质基底、光刻成形、沉积牺牲层和金属层并去除光刻胶、高温退火、制作柔性基底、刻蚀牺牲层。即可得到柔性温度传感器;本发明适用于对温度敏感的柔性可穿戴材料,所制备的柔性温度传感器兼具柔性和强度,先在刚性基片上制作金属温敏电阻,从而进行高温退火,有助于改善金属温敏电阻的硬度,降低残余应力,解决柔性传感器普遍的迟滞较大的难题,同时使金属结构更加稳定,消除组织缺陷,从而提高柔性温度传感器的整体性能。
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