公开(公告)号：CN101265094A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200810044963.6

申请日：2008-03-13

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 张德银 ,  黄大贵 ,  李金华 ,  李坤 ,  董政

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/624

Abstract: 本发明涉及一种热释电钽酸锂LiTa3O8薄膜及其溶胶－凝胶法制备工艺。本发明提供一种新组份的热释电钽酸锂LiTa3O8薄膜，比普通的钽酸锂LiTaO3薄膜，具有更小的漏电电流，能承受更高的极化电压。除具有非制冷的热释电特性外，钽酸锂LiTa3O8薄膜还具有良好的铁电、压电、电光和非线性光学特性，利用其一种或几种特性可制作功能器件。本发明所述制备钽酸锂LiTa3O8薄膜的溶胶－凝胶工艺：以铂金基底或硅单晶为基底，以高纯度金属锂和乙醇钽为原料，以乙二醇甲醚为溶剂，氩气保护下制备LiTa3O8溶胶，通过在基底上旋转涂膜得到LiTa3O8湿膜，对湿膜快速热退火得到0.2～5μm厚LiTa3O8薄膜。

公开(公告)号：CN101251416A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200810044571.X

申请日：2008-04-10

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 董政 ,  黄大贵 ,  张列平 ,  张德银 ,  黄逸平

IPC: G01J1/02 ,  G01J3/28

Abstract: 紫外火焰传感器及其制作方法，涉及一种日盲型紫外火焰传感器件。本发明提供一种结构简单、尺寸小、稳定性好、强度高、线性度和灵敏度高的紫外传感器，和通用性好、工艺简单、成本低的传感器制备方法。其特征在于，其中包括：透紫玻璃片；网状阳极，该阳极层制作在透紫玻璃片上；阴极衬底玻璃片；光电阴极，该层制作在阴极衬底玻璃片上面；玻璃环，该玻璃环制作在阴极和阳极中间；抽真空口，该抽真空口制作在玻璃环上；塑封底座，该底座制作在阴极衬底玻璃片下面；阴极和阳极引出线，该引出线粘接在塑封底座上，分别与阴极和阳极相连接；塑料外壳，该外壳制作在塑封底座，玻璃环和玻璃片周围。

公开(公告)号：CN101246055A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200810044964.0

申请日：2008-03-13

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 黄大贵 ,  张德银 ,  董政 ,  李金华 ,  李坤

IPC: G01J5/58 ,  G01J5/62

Abstract: 本发明涉及钽酸锂薄膜红外探测器及制法。本发明包括：一红外滤波窗口，一谐振斩波调制器，一聚焦透镜，一热释电钽酸锂薄膜红外探测头，一热沉腔体，一前置放大器，一低通滤波器，一电源及信号输出接口，一壳体，一环境温度探测补偿器。探测器制法，包括：选基底，在其正反面生长SiO2层，依次在正面沉积Si3N4层，溅射Ti层，溅射光刻Pt电极层，制备钽酸锂薄膜层，沉积光刻Al电极层，生长光刻SiNX抗反射层，溅射黑层，完成制作双元结构红外探头。聚焦透镜上涂防反射膜。红外窗口贴窄带滤波膜。前置放大器用JFET管或运放搭建。低通滤波器由运放搭建。谐振斩波调制器用压电驱动，或电磁驱动，谐振频率为1Hz～1000Hz。