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公开(公告)号：CN116488607A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310470760.8
申请日：2023-04-27
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明涉及一种基于FBAR的双模谐振器和滤波器，本发明涉及谐振器技术领域，双模谐振器包括下电极，压电层，压电层包括并行设置的第一压电层和第二压电层，第一压电层和第二压电层厚度不相同，上电极，上电极包括第一上电极和第二上电极，第一上电极设置在第一压电层上，第二上电极设置在第二压电层上，下电极、压电层和上电极依次层叠设置，滤波器包括输入端和输出端及多阶双通道滤波器，多阶双通道滤波器包括多个串联的一阶双通道滤波器，本发明可以进一步减小多通带滤波器的尺寸。
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