公开(公告)号：CN110323286A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910461813.3

申请日：2019-05-30

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 宋轶佶 ,  刘爽 ,  于天一 ,  何燕军 ,  黄建 ,  刘永

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明涉及光电探测和太阳能电池领域，公开了一种表面等离激元黑硅宽光谱吸收材料的制备方法。本发明采用在六氟化硫和氧气混合氛围中反应离子刻蚀硅片形成尖锥或密集孔洞的黑硅结构后，在黑硅粗糙表面进行热蒸发沉积金膜，金可以附着在黑硅侧壁刻蚀钝化形成的粗糙表面，从而不需要退火即可形成金纳米颗粒。本发明所描述的等离激元黑硅宽光谱吸收材料通过将黑硅陷光性能以及金纳米颗粒诱导的局域等离子激元红外吸收的结合，具有可见光到近红外(300～2500nm)的95％以上的高吸收能力，性能稳定且具备一定的机械强度。本发明工艺简单、成本低廉，与现有的CMOS工艺技术相兼容，有利于硅基完美吸收体在太阳能电池和光电探测器中的广泛应用。

公开(公告)号：CN110307905A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201910633756.2

申请日：2019-07-15

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  李佳城 ,  何燕军 ,  宋轶佶 ,  于天一 ,  刘永 ,  钟智勇

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/08

Abstract: 本发明公开了一种红外焦平面阵列及基于该红外焦平面阵列的红外热成像系统，属于红外热成像领域。所述红外焦平面阵列，包括若干个周期性排布的阵列单元，每个阵列单元包括衬底、绝热支撑层、亚波长光栅结构和红外吸收层。基于红外焦平面阵列的红外热成像系统包括波长转换模块、读出信号产生模块和成像显示模块；所述波长转换模块的核心元件为红外焦平面阵列；来自目标的红外辐射聚焦到焦平面上，将目标的红外图像信息转换成焦平面阵列上温度分布信息；所述读出信号产生模块用于产生线偏振窄带近红外光并使其经红外焦平面阵列反射后进入成像显示模块实现目标物体可视化。本发明实现了大面阵、高像素、低成本、快响应的热成像系统设计。

公开(公告)号：CN110333567A

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201910608779.8

申请日：2019-07-05

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 何燕军 ,  刘爽 ,  李佳城 ,  宋轶佶 ,  许阳 ,  龙飞 ,  刘永

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明涉及利用非对称结构实现高性能的F-P薄膜滤波器及制备方法。改结构是在腔层上方沉积3个周期的高低折射率材料，下方沉积3个周期高低折射率材料，最后再表面沉积一层低折射率材料，起到提升滤波器性能(提升半峰宽和反射抑制比)。以L代表低折射率材料，H代表高折射率材料，2H代表腔层材料，Sub代表衬底，即整体的滤波器结构表示为LHLHLH-2H-LHLHLH-Sub，腔层上下3个周期的高低折射率层组合(HL)。高折射率材料选用了非晶硅(a-Si)，低折射率材料选用了氮化硅(SiNx)，衬底选用硅衬底，制备手段主要是利用RF-PECVD。本发明的非对称F-P薄膜滤波器的机构，具有高反射滤波性能、设备要求低，工艺制作简单等优点。

公开(公告)号：CN110307905B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201910633756.2

申请日：2019-07-15

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  李佳城 ,  何燕军 ,  宋轶佶 ,  于天一 ,  刘永 ,  钟智勇

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/08

Abstract: 本发明公开了一种红外焦平面阵列及基于该红外焦平面阵列的红外热成像系统，属于红外热成像领域。所述红外焦平面阵列，包括若干个周期性排布的阵列单元，每个阵列单元包括衬底、绝热支撑层、亚波长光栅结构和红外吸收层。基于红外焦平面阵列的红外热成像系统包括波长转换模块、读出信号产生模块和成像显示模块；所述波长转换模块的核心元件为红外焦平面阵列；来自目标的红外辐射聚焦到焦平面上，将目标的红外图像信息转换成焦平面阵列上温度分布信息；所述读出信号产生模块用于产生线偏振窄带近红外光并使其经红外焦平面阵列反射后进入成像显示模块实现目标物体可视化。本发明实现了大面阵、高像素、低成本、快响应的热成像系统设计。