公开(公告)号：CN110473756A

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201910863575.9

申请日：2019-09-12

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 宋芦迪 ,  徐进 ,  魏彦玉 ,  殷海荣 ,  岳玲娜 ,  王文祥 ,  赵国庆

IPC: H01J23/24

Abstract: 本发明公开了一种平面可集成化慢波结构，包括数个慢波结构单元，慢波结构单元包括第一介质基底、金属底板和金属线；第一介质基底在金属线两端对其进行支撑，中间保持真空，在两个第一介质基底底部由一块金属底板进行支撑，数个慢波结构单元首尾相连，组成周期性结构，即平面可集成化慢波结构；一种平面可集成化慢波结构的加工方法，包括以下步骤：S1：为了得到悬空的金属线，需要在所需位置对介质基板进行腐蚀处理，去除中间部分的介质，得到一条真空通道；S2：选用光刻胶作为牺牲层材料，使其完整淀积在介质中间的真空区域；解决了以往结构无法降低器件工作电压、提高平面行波管的输出总功率及功率密度的问题。

公开(公告)号：CN110473756B

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201910863575.9

申请日：2019-09-12

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 宋芦迪 ,  徐进 ,  魏彦玉 ,  殷海荣 ,  岳玲娜 ,  王文祥 ,  赵国庆

IPC: H01J23/24

Abstract: 本发明公开了一种平面可集成化慢波结构，包括数个慢波结构单元，慢波结构单元包括第一介质基底、金属底板和金属线；第一介质基底在金属线两端对其进行支撑，中间保持真空，在两个第一介质基底底部由一块金属底板进行支撑，数个慢波结构单元首尾相连，组成周期性结构，即平面可集成化慢波结构；一种平面可集成化慢波结构的加工方法，包括以下步骤：S1：为了得到悬空的金属线，需要在所需位置对介质基板进行腐蚀处理，去除中间部分的介质，得到一条真空通道；S2：选用光刻胶作为牺牲层材料，使其完整淀积在介质中间的真空区域；解决了以往结构无法降低器件工作电压、提高平面行波管的输出总功率及功率密度的问题。