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公开(公告)号:CN107748188A
公开(公告)日:2018-03-02
申请号:CN201710816618.9
申请日:2017-09-12
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N27/26
CPC classification number: G01N27/26
Abstract: 本发明公开了一种基于Pd膜的致密均匀纳米微结构的柔性氢气传感器,属于柔性氢气传感器技术领域。本发明通过使PSCP单层致密均匀的排列在硅片上,然后将PSCP转移至PDMS(聚二甲基硅氧烷)上,接着固化PDMS并溶解掉PSCP产生具有纳米微结构的PDMS,最后在具有纳米微结构的PDMS表面溅射一层不连续的Pd膜并加载一对Au电极。该发明工艺简单,并且使用的PDMS柔性衬底具有韧性大、弹性模量大等优良性能。由此制备出的柔性氢气传感器,不仅显著提高了其性能,而且大大拓宽了应用范围。
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公开(公告)号:CN107655598A
公开(公告)日:2018-02-02
申请号:CN201710820185.4
申请日:2017-09-12
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01L1/20
Abstract: 本发明公开了一种基于碳纳米管和银纳米线复合导电薄膜的柔性应力传感器,属于柔性应力传感器技术领域。本发明通过将CNTs分散在乙二醇中,并在分散溶液中合成AgNWs。然后使用喷涂的方法将合成好的复合物转移到PDMS柔性衬底上,以制备CNTs和AgNWs的复合导电薄膜导电电极,最后再用一层PDMS柔性衬底封装成一种高稳定性的柔性应力传感器。本发明采用碳纳米管的乙二醇分散液化学合成CNTs和AgNWs的复合物,提高了CNTs和AgNWs的黏结性,这将使得柔性应力传感器的稳定性、响应性大大提高。并且CNTs和AgNWs的复合,在不改变原来柔韧性、延展性和透明性的基础上,还提高了导电性,节省了能源,极大地拓宽了它在柔性电子方面的应用。
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公开(公告)号:CN107389733B
公开(公告)日:2020-05-12
申请号:CN201710614111.5
申请日:2017-07-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于氢气传感器设计及制备领域,提供一种钛丝基结构的氢气传感器及其制备方法;该氢气传感器包括绝缘衬底、绝缘支撑块及氢传感模块,氢传感模块以钛丝为基底、由钛丝基底表面依次设置TiO2纳米管及Pd纳米团簇构成,氢传感模块中间为氢气敏感区、两端为电极区,电极区涂覆有银胶、作为电极,银胶表面缠绕导线;氢传感模块两端分别通过绝缘支撑块固定于绝缘衬底上,使氢气敏感区悬空。本发明采用钛丝作为基底材料,所用材料较少、能够降低成本,体积较小、质量较轻,便于携带;从结构上讲,两电极之间的TiO2纳米管材料较少,基电阻较小,使得传感器灵敏度更高;本发明提供其制备方法,工艺简单、制备成本低,利于工业化生产。
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公开(公告)号:CN107655598B
公开(公告)日:2020-01-10
申请号:CN201710820185.4
申请日:2017-09-12
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01L1/20
Abstract: 本发明公开了一种基于碳纳米管和银纳米线复合导电薄膜的柔性应力传感器,属于柔性应力传感器技术领域。本发明通过将CNTs分散在乙二醇中,并在分散溶液中合成AgNWs。然后使用喷涂的方法将合成好的复合物转移到PDMS柔性衬底上,以制备CNTs和AgNWs的复合导电薄膜导电电极,最后再用一层PDMS柔性衬底封装成一种高稳定性的柔性应力传感器。本发明采用碳纳米管的乙二醇分散液化学合成CNTs和AgNWs的复合物,提高了CNTs和AgNWs的黏结性,这将使得柔性应力传感器的稳定性、响应性大大提高。并且CNTs和AgNWs的复合,在不改变原来柔韧性、延展性和透明性的基础上,还提高了导电性,节省了能源,极大地拓宽了它在柔性电子方面的应用。
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公开(公告)号:CN107389733A
公开(公告)日:2017-11-24
申请号:CN201710614111.5
申请日:2017-07-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于氢气传感器设计及制备领域,提供一种钛丝基结构的氢气传感器及其制备方法;该氢气传感器包括绝缘衬底、绝缘支撑块及氢传感模块,氢传感模块以钛丝为基底、由钛丝基底表面依次设置TiO2纳米管及Pd纳米团簇构成,氢传感模块中间为氢气敏感区、两端为电极区,电极区涂覆有银胶、作为电极,银胶表面缠绕导线;氢传感模块两端分别通过绝缘支撑块固定于绝缘衬底上,使氢气敏感区悬空。本发明采用钛丝作为基底材料,所用材料较少、能够降低成本,体积较小、质量较轻,便于携带;从结构上讲,两电极之间的TiO2纳米管材料较少,基电阻较小,使得传感器灵敏度更高;本发明提供其制备方法,工艺简单、制备成本低,利于工业化生产。
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