公开(公告)号：CN113614034A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080022591.6

申请日：2020-03-26

Applicant: 电化株式会社

Inventor： 宫下敏行 ,  中村祐三

IPC: C01B21/068 ,  C04B35/593

Abstract: 提供总氟量为100～1000质量ppm且Fe、Al及Ca的合计量为100～1000质量ppm的氮化硅粉末。提供氮化硅粉末的制造方法，其具有下述工序：将包含硅粉末和氟化物且相对于硅粉末而言的氟化物的含量为0.1～2质量％的原料在包含氮与选自由氢及氨组成的组中的至少一者的混合气氛下进行烧成而制得烧成物的工序；和使用氟化氢浓度为10～40质量％的氢氟酸对烧成物进行处理的工序。

公开(公告)号：CN118922396A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202380029652.5

申请日：2023-03-14

Applicant: 电化株式会社

Inventor： 中村祐三 ,  宫下敏行

IPC: C04B35/587 ,  C01B21/068

Abstract: 提供一种氮化硅粉末，其为包含氮化硅及碳的氮化硅粉末，其中，相对于粉末整体而言的碳的质量比率Cp为0.05％以上，相对于粉末整体而言的在粉末的表面部所包含的碳的质量比率Cs为0.05％以下。提供一种氮化硅粉末的制造方法，其具有：对包含硅粉末和有机粘结剂的混炼物进行成型而得到成型体的工序；将成型体于900℃以上且低于1100℃加热1小时以上进行脱脂的工序；在包含氮和选自由氢及氨组成的组中的至少一者的混合气氛下对成型体进行烧成而得到包含氮化硅和碳的烧成物的工序；和将烧成物粉碎的工序。

公开(公告)号：CN113614035A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202080022939.1

申请日：2020-03-26

Applicant: 电化株式会社

Inventor： 中村祐三 ,  宫下敏行

IPC: C01B21/068 ,  C04B35/593

Abstract: 提供内部氧量为0.6质量％以下的氮化硅粉末。提供氮化硅粉末的制造方法，其具有下述工序：对氧浓度为0.4质量％以下的硅粉末在包含氮与氢的混合气氛下进行烧成而制得烧成物的工序；和使用氟化氢浓度为10～40质量％的氢氟酸对烧成物进行处理的工序。