公开(公告)号：CN1451169A

公开(公告)日：2003-10-22

申请号：CN01809075.3

申请日：2001-04-25

Applicant: 瓦里安半导体设备联合公司

Inventor： 约瑟夫·C·奥利桑 ,  利奥·克劳斯 ,  安东尼·丽奥 ,  尼古拉斯·A·维尤托

IPC: H01J27/02

CPC classification number: H01J27/022 ,  H01J27/08

Abstract: 非直接加热阴极式离子源的阴极被至少一个杆或钉支撑。阴极优选为盘状，支撑杆的直径小于阴极盘的直径以减少热传导和热辐射。在一个实施例中，阴极被单个杆在盘中心或中心附近支撑。为简单和稳定地夹紧和分离，支撑杆被一个弹簧夹夹持。阴极盘和支撑杆可制造成一块。一发射热电子化电子的丝极在靠近阴极处安装在支撑杆周围。

公开(公告)号：CN1230859C

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：CN01809075.3

申请日：2001-04-25

Applicant: 瓦里安半导体设备联合公司

Inventor： 约瑟夫·C·奥利桑 ,  利奥·克劳斯 ,  安东尼·丽奥 ,  尼古拉斯·A·维尤托

IPC: H01J27/02

CPC classification number: H01J27/022 ,  H01J27/08

Abstract: 非直接加热阴极式离子源的阴极被至少一个杆或钉支撑。阴极优选为盘状，支撑杆的直径小于阴极盘的直径以减少热传导和热辐射。在一个实施例中，阴极被单个杆在盘中心或中心附近支撑。为简单和稳定地夹紧和分离，支撑杆被一个弹簧夹夹持。阴极盘和支撑杆可制造成一块。一发射热电子化电子的丝极在靠近阴极处安装在支撑杆周围。