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公开(公告)号：CN111512189B
公开(公告)日：2023-02-21
申请号：CN201780097344.0
申请日：2017-10-02
申请人： 瑞士CSEM电子显微技术研发中心
发明人： G.巴塞
摘要： 公开了一种包括波导层、多个亚波长结构的谐振波导光栅。与该多个亚波长结构在光学上接近的波导层被配置成引导至多十个波导光模。该多个亚波长结构包括：至少两个相邻凹槽，其在它们的凹槽中心之间具有亚波长距离，该亚波长距离不同于两个相邻凸脊的中心之间的亚波长距离。该多个亚波长结构被配置成通过衍射将入射光的耦入部分的耦出小部分从波导层谐振地耦出。该耦出小部分是入射光束的衍射部分。本发明还通过一种衍射光学组合器以及还通过一种衍射光学耦合器来实现，这两者都包括本发明的谐振波导光栅。还公开了一种包括本发明的至少谐振波导光栅的近眼显示装置。
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公开(公告)号：CN110865431B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN201910789353.7
申请日：2019-08-26
申请人： 瑞士CSEM电子显微技术研发中心
摘要： 滤光器、滤光器系统、光谱仪及其制造方法根据本发明的实施例，提供了一种纳米结构化光学波长透射过滤器。滤光器包括图案化基底，在所述图案化基底上布置高折射率介质波导。低折射率介电层布置在高折射率介质波导上，在所述低折射率介电层上布置金属纳米结构的阵列。滤光器的各层具有由基底的图案化表面限定的共形形状。本发明还涉及滤光器系统，包括光学透射过滤器和固定到基底的检测器阵列。本发明还涉及包括至少一个光学透射过滤器和/或至少一个所述光学透射过滤器系统的光谱仪，并且对于具有波长在300nm与790nm之间的入射光具有低于30nm的光谱分辨率。本发明还涉及制造滤光器、滤光器系统和光谱仪的方法。
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公开(公告)号：CN111512189A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201780097344.0
申请日：2017-10-02
申请人： 瑞士CSEM电子显微技术研发中心
发明人： G.巴塞
摘要： 公开了一种包括波导层、包括多个亚波长结构的谐振波导光栅。与该多个亚波长结构在光学上接近的波导层被配置成在预定波长范围内引导至多十个波导光模。所述多个亚波长结构包括：至少两个相邻凹槽，其在它们的凹槽中心之间具有亚波长距离，该亚波长距离不同于两个相邻凸脊的中心之间的亚波长距离。该多个亚波长结构被配置成通过衍射将入射光的耦入部分的耦出小部分从所述波导层谐振地耦出。该谐振波导光栅被配置成在预定波长范围内耦出具有预定中心波长λ0的入射光的耦入部分的小部分，并且具有预定光谱宽度Δλ，所述耦出小部分是入射光束的衍射部分。本发明还通过一种衍射光学组合器以及还通过一种衍射光学耦合器来实现，这两者都包括本发明的谐振波导光栅。还公开了一种包括本发明的至少谐振波导光栅的近眼显示装置。
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公开(公告)号：CN110865431A
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201910789353.7
申请日：2019-08-26
申请人： 瑞士CSEM电子显微技术研发中心
摘要： 滤光器、滤光器系统、光谱仪及其制造方法根据本发明的实施例，提供了一种纳米结构化光学波长透射过滤器。滤光器包括图案化基底，在所述图案化基底上布置高折射率介质波导。低折射率介电层布置在高折射率介质波导上，在所述低折射率介电层上布置金属纳米结构的阵列。滤光器的各层具有由基底的图案化表面限定的共形形状。本发明还涉及滤光器系统，包括光学透射过滤器和固定到基底的检测器阵列。本发明还涉及包括至少一个光学透射过滤器和/或至少一个所述光学透射过滤器系统的光谱仪，并且对于具有波长在300nm与790nm之间的入射光具有低于30nm的光谱分辨率。本发明还涉及制造滤光器、滤光器系统和光谱仪的方法。
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