公开(公告)号：CN116234693A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202180063657.0

申请日：2021-12-28

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 古川喜章 ,  古野健太 ,  福元彰朗 ,  若山洋司 ,  山口征太郎

IPC: B32B27/00

Abstract: 本发明提供一种即使为微细的工件小片也能够良好地进行处理的工件处理片。一种工件处理片1，其具备基材11与界面剥蚀层12，所述界面剥蚀层12层叠在基材11的一个面侧上，所述界面剥蚀层12能够保持工件小片，同时通过激光的照射而进行界面剥蚀，所述工件处理片1的特征在于：对进行了以190mJ/cm2的光量照射波长为365nm的紫外线的第一紫外线照射的工件处理片1进一步进行以950mJ/cm2的光量照射波长为365nm的紫外线的第二紫外线照射的情况下，界面剥蚀层12将所述第二紫外线照射中的紫外线的光能转换为热能时的转换效率为60％以上。

公开(公告)号：CN116457206A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202280007249.8

申请日：2022-01-13

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 古野健太 ,  福元彰朗 ,  若山洋司 ,  古川喜章

IPC: B32B27/00

Abstract: 本发明提供一种工件处理片1，其具备基材12与界面烧蚀层11，界面烧蚀层11层叠在基材12的单面侧、能够保持工件小片且通过激光照射进行界面烧蚀，界面烧蚀层11含有活性能量射线固化性成分、光聚合引发剂及紫外线吸收剂。即使是微小的工件小片，该工件处理片也能够良好地进行处理。

公开(公告)号：CN116368003A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202280007251.5

申请日：2022-01-13

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 古野健太 ,  福元彰朗 ,  若山洋司 ,  古川喜章

IPC: B32B27/00

Abstract: 本发明提供一种工件处理片1，其具备基材11与界面烧蚀层12，界面烧蚀层12层叠在基材11的单面侧、能够保持工件小片且通过激光照射进行界面烧蚀，界面烧蚀层12含有光聚合引发剂，工件处理片1对波长355nm的光线的吸光度为1.5以上。即使是微小的工件小片，该工件处理片也能够良好地进行处理。