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公开(公告)号：CN1906324A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200580001958.1
申请日：2005-01-06
Applicant: 理想星株式会社
IPC: C23C14/48 , C01B31/02 , H01L21/265 , H01L51/00 , H01L29/06 , H01M8/02 , H01B13/00 , H01J37/317
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , C23C14/0605 , C23C14/48 , H01J37/32412 , H01L51/0046 , H01M8/1016 , H01M2300/0091 , Y02E10/549 , Y02P70/521 , Y02P70/56
Abstract: 在使用加速电极赋予内含原子离子加速能量、将内含原子注入预先形成于堆积基板上的空心富勒烯膜的内含式富勒烯的制造方法中，由于构成离子束的荷电粒子仅仅是作为同一极性离子的内含原子离子，故荷电粒子间作用斥力，特别是在低能量离子注入中粒子束发散，故难于对富勒烯膜注入高密度的离子，内含式富勒烯的收率低，成为问题。通过磁场发生装置发生的均匀磁场将含有由内含原子离子构成的荷电粒子、含有该内含原子离子和相反极性的荷电粒子的等离子体输送至堆积基板上的空心富勒烯膜，通过外加于该堆积基板上的偏压电压赋予内含原子加速能量，将内含原子注入该富勒烯膜。由于构成等离子体的荷电粒子间有引力作用、等离子体难于发散，故即使在低能量的离子注入中，也可注入高密度离子，可提高内含式富勒烯的收率。
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公开(公告)号：CN1890175B
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200480035788.4
申请日：2004-12-03
Applicant: 理想星株式会社
IPC: C01B31/02
CPC classification number: H05B6/806 , B01J19/126 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B01J2219/1227 , B01J2219/182 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , Y02P20/124
Abstract: 本发明提供可实现等离子体中电子的高效率加热、可提高衍生富勒烯收率的衍生富勒烯的制造装置。利用具备微波发生器、镜磁场形成线圈、和4相控制螺旋形天线的等离子体生成装置，可生成高电子温度等离子体，因此可提高衍生对象离子的生成效率，提高衍生富勒烯的收率。
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公开(公告)号：CN100558931C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200580001958.1
申请日：2005-01-06
Applicant: 理想星株式会社
IPC: C23C14/48 , C01B31/02 , H01L21/265 , H01L51/00 , H01L29/06 , H01M8/02 , H01B13/00 , H01J37/317
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , C23C14/0605 , C23C14/48 , H01J37/32412 , H01L51/0046 , H01M8/1016 , H01M2300/0091 , Y02E10/549 , Y02P70/521 , Y02P70/56
Abstract: 在使用加速电极赋予内含原子离子加速能量、将内含原子注入预先形成于堆积基板上的空心富勒烯膜的内含式富勒烯的制造方法中，由于构成离子束的荷电粒子仅仅是作为同一极性离子的内含原子离子，故荷电粒子间作用斥力，特别是在低能量离子注入中粒子束发散，故难于对富勒烯膜注入高密度的离子，内含式富勒烯的收率低，成为问题。通过磁场发生装置发生的均匀磁场将含有由内含原子离子构成的荷电粒子、含有该内含原子离子和相反极性的荷电粒子的等离子体输送至堆积基板上的空心富勒烯膜，通过外加于该堆积基板上的偏压电压赋予内含原子加速能量，将内含原子注入该富勒烯膜。由于构成等离子体的荷电粒子间有引力作用、等离子体难于发散，故即使在低能量的离子注入中，也可注入高密度离子，可提高内含式富勒烯的收率。
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公开(公告)号：CN1890175A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200480035788.4
申请日：2004-12-03
Applicant: 理想星株式会社
IPC: C01B31/02
CPC classification number: H05B6/806 , B01J19/126 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B01J2219/1227 , B01J2219/182 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152 , Y02P20/124
Abstract: 本发明提供可实现等离子体中电子的高效率加热、可提高衍生富勒烯收率的衍生富勒烯的制造装置。利用具备微波发生器、镜磁场形成线圈、和4相控制螺旋形天线的等离子体生成装置，可生成高电子温度等离子体，因此可提高衍生对象离子的生成效率，提高衍生富勒烯的收率。
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