公开(公告)号：CN108075743B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN201711127532.1

申请日：2017-11-15

申请人： 环球通信半导体有限责任公司

发明人： R·B·斯托克斯 ,  A·M·康 ,  侯立平 ,  D-J·玄 ,  王兴国

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H3/02

摘要： 本公开涉及具有杂散谐振抑制的膜体声谐振器。描述了设备和用于制备设备的过程，用于减少体声谐振器中的杂散波的谐振。第一电极耦合到压电层的第一侧，并且第二电极耦合到压电层的第二侧。压电层被配置为响应于施加在第一电极和第二电极之间的电信号而谐振。第一电极、压电层和/或第二电极中的穿孔，和/或支撑第二电极的柱或梁，减少了杂散波的谐振。

公开(公告)号：CN108075743A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201711127532.1

申请日：2017-11-15

申请人： 环球通信半导体有限责任公司

发明人： R·B·斯托克斯 ,  A·M·康 ,  侯立平 ,  D-J·玄 ,  王兴国

IPC分类号： H03H9/02 ,  H03H3/02

CPC分类号： H03H9/02086 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02047 ,  H03H9/02062 ,  H03H9/132 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/0207 ,  H03H2003/023

摘要： 本公开涉及具有杂散谐振抑制的膜体声谐振器。描述了设备和用于制备设备的过程，用于减少体声谐振器中的杂散波的谐振。第一电极耦合到压电层的第一侧，并且第二电极耦合到压电层的第二侧。压电层被配置为响应于施加在第一电极和第二电极之间的电信号而谐振。第一电极、压电层和/或第二电极中的穿孔，和/或支撑第二电极的柱或梁，减少了杂散波的谐振。