公开(公告)号：CN101471639A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200810184173.8

申请日：2008-12-16

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 安池亮一

IPC: H03H9/19 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/02023 ,  H03H3/04 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/0547 ,  H03H9/0552 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/132 ,  H03H9/177 ,  H03H9/19 ,  H03H2003/022 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供一种量产性优良、振动部的占有比例高的反向台面型的石英振动片。用于解决上述课题的石英振动片对石英毛坯板(12)通过湿法蚀刻而形成构成振动部(16)的薄壁部和与振动部(16)邻接的厚壁部(14)，其特征在于，石英毛坯板(12)具有与Z″轴和与Z″轴垂直相交的X′轴分别平行的边缘，其中，Z″轴是将使AT切石英毛坯板上的+Z′轴绕Y′轴向+X轴方向旋转作为正的旋转角而使Z′轴绕Y′轴在－120°到+60°的范围旋转而得到的，振动部(16)的形成从+Y′轴侧主面或－Y′轴侧主面的任意一者进行，在从+Y′轴侧主面进行了蚀刻的情况下，至少在+Z″轴侧端部设置厚壁部(14)，在从－Y′轴侧主面进行了蚀刻的情况下，至少在－Z″轴侧端部设置厚壁部(14)。