公开(公告)号：CN101819079A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN201010126148.1

申请日：2010-02-26

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 佐藤健太

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/008 ,  G01L9/0022 ,  G01L9/0025

Abstract: 本发明提供压力传感器元件以及压力传感器，其降低了加速度敏感度。具有：封装(44)；第1膜片(46)，其设置在所述封装(44)的一个面上；第2膜片(48)，其设置在所述封装(44)的与所述一个面相对的面上；感压元件(32)，其配置在所述封装(44)内部，所述感压元件(32)具有：第1基部(34)，其形成在长度方向上的一端；第2基部(38)，其形成在所述长度方向上的所述一端的相反侧的另一端；振动部(36)，其形成在所述第1基部(34)与所述第2基部(38)之间，该感压元件(32)被配置成所述长度方向与各膜片的位移方向垂直，所述第1基部(34)与所述第1膜片(46)连接，所述第2基部(38)与所述第2膜片(48)连接。

公开(公告)号：CN101726375A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910179766.X

申请日：2009-10-15

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 佐藤健太

IPC: G01L1/10 ,  G01L1/16 ,  G01L9/08

CPC classification number: G01L9/008 ,  G01L9/0022

Abstract: 本发明的目的在于提供压力传感器及受压单元，能够在不使挠性部的弯曲灵敏度劣化的情况下抑制膜片的振动。本发明的压力传感器(10)具有：感压元件，其具有感压部和与该感压部的两端连接的一对基部(36)；受压单元，其在一个主面上具有受压面(43)，并在该受压面背侧的另一个主面上设置有一对支撑部(45)，一对支撑部(45)覆盖上述感压元件的一个主面侧并分别支撑上述感压元件的上述一对基部(36)，其特征在于，上述受压单元在相对于通过上述另一个主面的中心并朝上述一对支撑部(45)的排列方向延伸的第1假想线、以及通过上述中心并朝与上述第1假想线垂直的方向延伸的第2虚拟线中的至少任意一个假想线呈线对称的位置上具有厚壁部(50)。