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公开(公告)号：CN101405937A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200780010272.8
申请日：2007-03-20
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/02
CPC classification number: C03C15/00 , H03H3/02 , H03H2003/026 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明提供一种压电振动片的制造方法，该压电振动片的表面的变质层少、具有与所设计的振动特性的差异小的振动特性。在去除金属掩模(30)后，进行湿法蚀刻，分离形成音叉型石英振动片(10)，因此，可以暴露由于干法蚀刻而生成的变质层(23)，通过湿法蚀刻去除变质层(23)。由此，可以得到具有与所设计的振动特性的差异小的振动特性的音叉型石英振动片(10)的制造方法。
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