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公开(公告)号:CN112345494B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202011165140.6
申请日:2020-10-27
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片,属于测量技术领域,更具体地涉及传感器芯片技术领域,包括传感器芯片基体,所述传感器芯片基体为高折射率棱镜,所述传感器芯片基体的上方依次镀有介质Cytop层和半导体TDBC膜,所述半导体TDBC膜上涂有石墨烯层。本发明的灵敏度最大可为3243 RIU‑1,使传感器实现了对物质分子快速、高灵敏度、稳定的响应信号特性。
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公开(公告)号:CN112345494A
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN202011165140.6
申请日:2020-10-27
Applicant: 燕山大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明涉及一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片,属于测量技术领域,更具体地涉及传感器芯片技术领域,包括传感器芯片基体,所述传感器芯片基体为高折射率棱镜,所述传感器芯片基体的上方依次镀有介质Cytop层和半导体TDBC膜,所述半导体TDBC膜上涂有石墨烯层。本发明的灵敏度最大可为3243 RIU‑1,使传感器实现了对物质分子快速、高灵敏度、稳定的响应信号特性。
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