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公开(公告)号：CN113215522A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110418827.4
申请日：2021-04-19
Applicant: 燕山大学
Inventor： 王建青
IPC: C23C10/08 , C23C8/36 , C23C14/16 , C23C14/38 , G01J5/00 , G01N3/44 , G01N17/02 , G01N21/84 , G01N23/207 , G01N23/2251
Abstract: 本发明公开了一种提高锆及其合金硬度的方法，其包括以下步骤：步骤一：清洁设备及实验材料；步骤二：装配工件和源极，调整源极和工件之间距离，使支架、保温罩等保持稳定，封闭炉体；步骤三：抽真空至1Pa左右后，充Ar气至30‑50Pa，阴极置400‑500V负偏压，欲渗金属极(称为源极)置800‑1000V负偏压，在偏压的作用下，气体被点燃，产生强烈的辉光放电，在阴极和源极之间产生不等电位空心阴极效应，使得工件被迅速加热到高温，使得欲渗金属原子被溅射出来，沉积到工件表面，在高温下，在工件表面沉积原子浓度梯度的作用下，原子通过扩散，进入工件表层，形成表面合金层，对锆基体来说，当温度达到1000℃左右时，锆基体部分区域出现融化迹象。
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公开(公告)号：CN108998697B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201810891413.1
申请日：2018-08-07
Applicant: 燕山大学
Abstract: 一种在中锆合金表面渗锆制备富锆改性层的方法，其主要包括以下步骤：1、锆合金Zr51Ti39Al5V5的表面预处理；2、双辉等离子渗镀处理，渗锆源极靶材为工业纯锆，源极与合金表面间距为16‑18mm；抽真空至4Pa以下，充入氩气至300Pa，重复抽三次；将工作气压调至30‑40Pa，打开合金极电源升电压至300V，对合金表面进行轰击清洗10min，随后将合金电压升至工作电压450‑550V；打开源极电源升电压至640‑650V，对源极靶材进行轰击清洗10min，最后升源极电压至工作电压800‑900V，温度稳定在750‑850℃；恒温渗镀3‑5h。本发明所制备的锆合金表面层硬度明显提高，摩擦系数减小，磨损量也较之前明显减少，而且其表面耐蚀性能得到明显改善。
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公开(公告)号：CN105483610B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201510848233.1
申请日：2015-11-27
Applicant: 燕山大学
IPC: C23C10/08
Abstract: 一种表面强化钛合金，它是一种表面有厚度170‑199微米含铁硬化合金层的钛合金；上述表面强化钛合金的渗铁方法主要是渗铁源极材料为工业纯铁，辅助阴极材料为奥氏体不锈钢材料，被渗材料为Ti72Zr17Al7V4钛合金，将经过机械抛光并超声清洗的被渗钛合金装入等离子冶金炉，抽真空后，充入氩气到工作气压35‑45Pa，开启与被渗钛合金相连的电源，施加200～300V电压，对金属锆表面实施预轰击，5分钟后升至电压400‑440V；打开源极电源，施加电压，轰击源极，并逐步施加电压到850‑950V；渗镀2‑4小时。本发明获得的金属锆表面硬度明显提高，由原来的460Hv左右增加到650Hv左右；同时渗镀后被渗合金的摩擦系数明显降低，磨损率降低66.67％。
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公开(公告)号：CN108998697A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810891413.1
申请日：2018-08-07
Applicant: 燕山大学
Abstract: 一种在中锆合金表面渗锆制备富锆改性层的方法，其主要包括以下步骤：1、锆合金Zr51Ti39Al5V5的表面预处理；2、双辉等离子渗镀处理，渗锆源极靶材为工业纯锆，源极与合金表面间距为16-18mm；抽真空至4Pa以下，充入氩气至300Pa，重复抽三次；将工作气压调至30-40Pa，打开合金极电源升电压至300V，对合金表面进行轰击清洗10min，随后将合金电压升至工作电压450-550V；打开源极电源升电压至640-650V，对源极靶材进行轰击清洗10min，最后升源极电压至工作电压800-900V，温度稳定在750-850℃；恒温渗镀3-5h。本发明所制备的锆合金表面层硬度明显提高，摩擦系数减小，磨损量也较之前明显减少，而且其表面耐蚀性能得到明显改善。
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