公开(公告)号：CN1846122B

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN200480025569.8

申请日：2004-09-03

Applicant: 热电股份有限公司

Inventor： F·文森 ,  A·卡布拉斯

IPC: G01J1/42 ,  G01J3/443

CPC classification number: G01J1/429 ,  G01J3/443

Abstract: 真空紫外辐射检测装置(10)包括在腔室(12)中的辐射检测器(30)。检测器(30)从辐射源(36)接收紫外辐射。用干式真空泵(18)将腔室抽空到不低于5Pa的相对较差真空。UV透明气体以一种使得腔室(12)中的总体压强在100到1,000Pa之间的相对低流速(大约0.1升/分钟)从供气(26)容器被供应到腔室(12)中。使用相对廉价的泵，同时使用较低的气体流速，可以显著地节省成本。

公开(公告)号：CN1846122A

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：CN200480025569.8

申请日：2004-09-03

Applicant: 热电股份有限公司

Inventor： F·文森 ,  A·卡布拉斯

IPC: G01J1/42 ,  G01J3/443

CPC classification number: G01J1/429 ,  G01J3/443

Abstract: 真空紫外辐射检测装置(10)包括在腔室(12)中的辐射检测器(30)。检测器(30)从辐射源(36)接收紫外辐射。用干式真空泵(18)将腔室抽空到不低于5Pa的相对较差真空。UV透明气体以一种使得腔室(12)中的总体压强在100到1,000Pa之间的相对低流速(大约0.1升/分钟)从供气(26)容器被供应到腔室(12)中。使用相对廉价的泵，同时使用较低的气体流速，可以显著地节省成本。