分束器和动镜的干涉仪速度控制

    公开(公告)号:CN103201605B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201180054353.4

    申请日:2011-11-07

    发明人: J.M.科芬

    IPC分类号: G01J3/453 G01B9/02

    CPC分类号: G01J3/453

    摘要: 在此介绍了一种对干涉仪提供速度控制的新颖装置,其中移动部件之一包括分束器元件。使用一个移动分束器和联接的挠曲安装允许改进速度控制,因为该分束器的低质量能实现在此披露的系统比常规镜子速度受控的干涉仪仪器响应更快并具有更低的合速度误差,以便从这个分析仪器中提供更稳定和更低噪音的光谱。对该分束器的、并且当希望时对所配置的镜子中的一个或两个的速度的控制减少了在每次扫描的端点处改变速度所浪费的时间。结果是在任何给定的实验时间帧内可获得的数据收集增加。因此,本发明的此类所希望的安排允许在更高的速率下收集扫描,这有利地增加了对迅速变化的系统进行监测的能力。

    降低振动噪音的挠曲安装动镜

    公开(公告)号:CN103201604B

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:CN201180054257.X

    申请日:2011-11-07

    发明人: J.M.科芬

    IPC分类号: G01J3/453 G01B9/02

    CPC分类号: G01J3/453 G01B9/02068

    摘要: 在此提出一种新型装置,该装置在干涉仪内引入一种混合挠曲安装的动镜部件。特别地,提供与具有该移动光学部件的新型倾斜和速度控制的一种新型挠曲安装组合的一种线性轴承。这样一种安排能够校正镜自身的误差,同时也解决了由在许多常规干涉仪中使用的轴承表面的缺陷造成的、隔离振动和噪音的问题。使用本发明的这样一种偶联的挠曲安装,除了以上的益处还增强了速度控制,这是因为该动镜组件的所产生的低质量使在此披露的系统能够比常规的镜速度控制干涉仪器具更快地响应,并且具有较低的速度误差以便提供来自该分析器具的一个更稳定并且更低噪音的频谱。

    双输入干涉仪分束器倾斜控制系统及挠曲安装

    公开(公告)号:CN103221794A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201180054263.5

    申请日:2011-11-07

    发明人: J.M.科芬

    IPC分类号: G01J3/453 G01B9/02

    摘要: 在此介绍了一种作为一个干涉仪的部分以保护分束器基板免受外部应力并且因此保持光学平坦度的新型柔软分束器安装系统。由于比该分束器基板更柔韧、因此外力使支座而不是该分束器变形,该柔软安装系统能够实现这样的保护。尽管在此所披露的柔软分束器安装配置保护该分束器,但是该干涉仪本身是较不稳定的,因为本发明的支座允许该分束器与固持在该干涉仪中的其他部件相比更容易倾斜。通过使用这种便宜的柔软安装系统作为一个挠曲件,以便允许一个改进的主动控制系统来维持与常规干涉仪相比更坚固的一个系统中的倾斜对准,本发明的改进的倾斜控制实施例将这个看似有害的作用变成一个降低成本的益处。

    双输入干涉仪分束器倾斜控制系统及挠曲安装

    公开(公告)号:CN103221794B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201180054263.5

    申请日:2011-11-07

    发明人: J.M.科芬

    IPC分类号: G01J3/453 G01B9/02

    摘要: 在此介绍了一种作为一个干涉仪的部分以保护分束器基板免受外部应力并且因此保持光学平坦度的新型柔软分束器安装系统。由于比该分束器基板更柔韧、因此外力使支座而不是该分束器变形,该柔软安装系统能够实现这样的保护。尽管在此所披露的柔软分束器安装配置保护该分束器,但是该干涉仪本身是较不稳定的,因为本发明的支座允许该分束器与固持在该干涉仪中的其他部件相比更容易倾斜。通过使用这种便宜的柔软安装系统作为一个挠曲件,以便允许一个改进的主动控制系统来维持与常规干涉仪相比更坚固的一个系统中的倾斜对准,本发明的改进的倾斜控制实施例将这个看似有害的作用变成一个降低成本的益处。

    分束器和动镜的干涉仪速度控制

    公开(公告)号:CN103201605A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201180054353.4

    申请日:2011-11-07

    发明人: J.M.科芬

    IPC分类号: G01J3/453 G01B9/02

    CPC分类号: G01J3/453

    摘要: 在此介绍了一种对干涉仪提供速度控制的新颖装置,其中移动部件之一包括分束器元件。使用一个移动分束器和联接的挠曲安装允许改进速度控制,因为该分束器的低质量能实现在此披露的系统比常规镜子速度受控的干涉仪仪器响应更快并具有更低的合速度误差,以便从这个分析仪器中提供更稳定和更低噪音的光谱。对该分束器的、并且当希望时对所配置的镜子中的一个或两个的速度的控制减少了在每次扫描的端点处改变速度所浪费的时间。结果是在任何给定的实验时间帧内可获得的数据收集增加。因此,本发明的此类所希望的安排允许在更高的速率下收集扫描,这有利地增加了对迅速变化的系统进行监测的能力。

    降低振动噪音的挠曲安装动镜

    公开(公告)号:CN103201604A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201180054257.X

    申请日:2011-11-07

    发明人: J.M.科芬

    IPC分类号: G01J3/453 G01B9/02

    CPC分类号: G01J3/453 G01B9/02068

    摘要: 在此提出一种新型装置,该装置在干涉仪内引入一种混合挠曲安装的动镜部件。特别地,提供与具有该移动光学部件的新型倾斜和速度控制的一种新型挠曲安装组合的一种线性轴承。这样一种安排能够校正镜自身的误差,同时也解决了由在许多常规干涉仪中使用的轴承表面的缺陷造成的、隔离振动和噪音的问题。使用本发明的这样一种偶联的挠曲安装,除了以上的益处还增强了速度控制,这是因为该动镜组件的所产生的低质量使在此披露的系统能够比常规的镜速度控制干涉仪器具更快地响应,并且具有较低的速度误差以便提供来自该分析器具的一个更稳定并且更低噪音的频谱。