公开(公告)号：CN116043141B

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202211340299.6

申请日：2022-10-29

Applicant: 烟台大学

Inventor： 孙启静 ,  王维

IPC: C22C45/10 ,  C22C1/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35

Abstract: 一种Zr基超稳金属玻璃的制备方法，包括以下步骤；第一步：锆铜合金锭制备；第二步：磁控溅射所需靶材制备；第三步：调整磁控溅射各参数，获得不同沉积速率；第四步：不同沉积速率下，厚度为～2.5um的Zr50Cu50金属玻璃薄膜制备；第五步：Zr50Cu50超稳金属玻璃制备；本发明将制备效率提高～10倍的同时，免去了衬底加热的麻烦，大大降低了对制备仪器、基底材料的要求。与此同时，在沉积速率～5.95nm/min时，制备的金属玻璃薄膜的玻璃转变温度较同成分传统玻璃可提高～13％(～85K)，远高于现有报道的最高值～8.5％(～60K)。除此之外，其结晶温度提高～79K。玻璃转变温度和结晶温度的大幅度提高表明其稳定性较传统金属玻璃的大幅度提升。

公开(公告)号：CN116043141A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202211340299.6

申请日：2022-10-29

Applicant: 烟台大学

Inventor： 孙启静 ,  王维

IPC: C22C45/10 ,  C22C1/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35

Abstract: 一种Zr基超稳金属玻璃的制备方法，包括以下步骤；第一步：锆铜合金锭制备；第二步：磁控溅射所需靶材制备；第三步：调整磁控溅射各参数，获得不同沉积速率；第四步：不同沉积速率下，厚度为～2.5um的Zr50Cu50金属玻璃薄膜制备；第五步：Zr50Cu50超稳金属玻璃制备；本发明将制备效率提高～10倍的同时，免去了衬底加热的麻烦，大大降低了对制备仪器、基底材料的要求。与此同时，在沉积速率～5.95nm/min时，制备的金属玻璃薄膜的玻璃转变温度较同成分传统玻璃可提高～13％(～85K)，远高于现有报道的最高值～8.5％(～60K)。除此之外，其结晶温度提高～79K。玻璃转变温度和结晶温度的大幅度提高表明其稳定性较传统金属玻璃的大幅度提升。