公开(公告)号：CN116465525A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310238582.6

申请日：2023-03-13

Applicant: 湖北工业大学

Inventor： 张楚鹏 ,  许涵 ,  杨林霄 ,  梅子进 ,  陈肖 ,  农志宇 ,  蔡根 ,  杨贤昭 ,  孙家政 ,  汤迎港

IPC: G01L1/22 ,  G01L1/20

Abstract: 本发明提供一种基于柔性薄膜传感器的面压力分布检测装置及方法，包括减振台，转台设置在减振台上且通过第一驱动件驱动转动，支撑件固定在转台上且顶部设有抛光盘，薄膜压力传感器设置在抛光盘内且其上设有多个均匀分布的应变片，抛光垫贴附在薄膜压力传感器上，支撑架固定在转台上且设在支撑件一侧且其上设有修整器和激光测距传感器，下位机用于获取多个应变片的多点压力值，上位机接收多点压力值且得到面压力分布云图，进而反馈抛光盘的压力分布情况，结合激光测距传感器反馈实时调整修整器上下移动的距离，在压力较大处通过修整器修整抛光垫，本发明能够准确调整抛光垫的平整度，进而方便对工件抛光。