公开(公告)号：CN118352140A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410496785.X

申请日：2024-04-24

申请人： 湖北工业大学

发明人： 刘顿 ,  李倩靓 ,  李胜凡 ,  李宇航 ,  王金威

IPC分类号： H01C17/242 ,  H01C17/22

摘要： 本发明涉及一种多膜层电阻的激光调阻方法，包括测量多膜层电阻的电阻层对不同波段波长激光的吸收率以及损伤阈值，并选择损伤阈值比电阻层大的材料作为保护层涂覆在电阻层的表面；利用分光光度计测得电阻层和保护层在不同波长光的吸收率曲线，并根据吸收率曲线确定保护层吸收率低于第一预设吸收率阈值且电阻层吸收率高于第二预设吸收率阈值的目标波长区间；根据目标波长区间，采用负离焦的方式将波长位于目标波长区间内的激光照射于多膜层电阻的表面，且激光的焦点聚焦于电阻层的表面，以对多膜层电阻进行调阻。本发明通过测量电阻层的损伤阈值进而可以选取损伤阈值更大的材料作为保护层，这样可以对在不伤及保护层的前提下对电阻层进行调阻，并且电阻层的调阻过程不会被外界空气所氧化，大大增加了电阻的稳定性，方案工艺简单，易于操作，采用负离焦的创新方式用激光在多膜层电阻上进行调阻，并用激光能量递减的加工方式多次切割，共同控制激光对电阻层干净，完整的去除，实现对多膜层电阻的精确、高效调阻，激光加工绿色环保无污染。