一种具有多层结构的柔性压阻传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113091968A

    公开(公告)日:2021-07-09

    申请号:CN202110366612.2

    申请日:2021-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种具有多层结构的柔性压阻传感器及其制备方法,包括两个相同的柔性压阻多层结构部件。第一柔性压阻多层结构部件包括第一柔性压阻平面基底层、第一多孔圆顶结构和第一触角结构,且所述第一柔性压阻多层结构的第一触角结构与所述第二柔性压阻多层结构的第二触角结构接触。本发明具有多层结构的柔性压阻传感器通过触角结构的接触来感应低范围应力变化,从而提高传感器的灵敏度;以及通过多孔圆顶的接触变形感应大范围及极大范围应力的变化,扩大传感器的感应范围。

    一种具有多层结构的柔性压阻传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113091968B

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202110366612.2

    申请日:2021-04-06

    Abstract: 本发明公开了一种具有多层结构的柔性压阻传感器及其制备方法,包括两个相同的柔性压阻多层结构部件。第一柔性压阻多层结构部件包括第一柔性压阻平面基底层、第一多孔圆顶结构和第一触角结构,且所述第一柔性压阻多层结构的第一触角结构与所述第二柔性压阻多层结构的第二触角结构接触。本发明具有多层结构的柔性压阻传感器通过触角结构的接触来感应低范围应力变化,从而提高传感器的灵敏度;以及通过多孔圆顶的接触变形感应大范围及极大范围应力的变化,扩大传感器的感应范围。

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