公开(公告)号：CN114005779B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202111595678.5

申请日：2021-12-24

Applicant: 湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司 ,  湖北江城实验室

Inventor： 田应超 ,  刘天建 ,  曹瑞霞 ,  程曲

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/60

Abstract: 本公开实施例公开了一种键合系统和键合方法。所述键合系统包括：键合组件，包括：用于拾取第一待键合管芯的键合头，以及贯穿所述键合头的第一光通路；其中，所述第一光通路的第一端位于所述键合头拾取所述第一待键合管芯的拾取面；第一对准组件，用于在所述键合组件位于第一位置时，通过所述第一光通路的第二端向所述第一端发射检测光信号；所述第一对准组件，还用于接收所述检测光信号经所述第一待键合管芯反射的反射光信号，并根据接收的所述反射光信号确定所述第一待键合管芯的当前位置与第一目标位置之间的第一偏差值；第二对准组件，用于确定所述晶圆上第二待键合管芯的当前位置与第二目标位置的第二偏差值。

公开(公告)号：CN114005779A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202111595678.5

申请日：2021-12-24

Applicant: 湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司 ,  湖北江城实验室

Inventor： 田应超 ,  刘天建 ,  曹瑞霞 ,  程曲

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/60

Abstract: 本公开实施例公开了一种键合系统和键合方法。所述键合系统包括：键合组件，包括：用于拾取第一待键合管芯的键合头，以及贯穿所述键合头的第一光通路；其中，所述第一光通路的第一端位于所述键合头拾取所述第一待键合管芯的拾取面；第一对准组件，用于在所述键合组件位于第一位置时，通过所述第一光通路的第二端向所述第一端发射检测光信号；所述第一对准组件，还用于接收所述检测光信号经所述第一待键合管芯反射的反射光信号，并根据接收的所述反射光信号确定所述第一待键合管芯的当前位置与第一目标位置之间的第一偏差值；第二对准组件，用于确定所述晶圆上第二待键合管芯的当前位置与第二目标位置的第二偏差值。