公开(公告)号：CN110196026A

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：CN201910569990.3

申请日：2019-06-27

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 冯峰 ,  李星辉 ,  周文萌 ,  刘彬彬 ,  黄俊龙 ,  冯平法

IPC: G01B11/30 ,  G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了快速测算表面粗糙度与测量尺度关系的方法，包括：S1、在测量尺度L0下获得样品的高度信息矩阵H0；对矩阵H0分割，得到不同尺度Li下的高度信息矩阵Hi；对矩阵H0、Hi进行最小二乘拟合，再分别用拟合前矩阵减去拟合后矩阵得到不同尺度下的目标高度信息矩阵，计算目标高度信息矩阵的均方差或算术平均获得不同尺度下的粗糙度，画出粗糙度-测量尺度关系曲线A，截取A的线性区域 并从中选取任一尺度L0′重复前述步骤得到关系曲线B，关系曲线B的线性区域为[L0′*,L0′]；当A和B在区间 内满足预设的重合条件时关系曲线A为目标关系模型，对于其线性区间 内的任意尺度可以根据该模型快速得到粗糙度值。

公开(公告)号：CN110196026B

公开(公告)日：2020-08-25

申请号：CN201910569990.3

申请日：2019-06-27

Applicant: 清华大学深圳研究生院

Inventor： 冯峰 ,  李星辉 ,  周文萌 ,  刘彬彬 ,  黄俊龙 ,  冯平法

IPC: G01B11/30 ,  G01Q60/24

Abstract: 本发明公开了快速测算表面粗糙度与测量尺度关系的方法，包括：S1、在测量尺度L0下获得样品的高度信息矩阵H0；对矩阵H0分割，得到不同尺度Li下的高度信息矩阵Hi；对矩阵H0、Hi进行最小二乘拟合，再分别用拟合前矩阵减去拟合后矩阵得到不同尺度下的目标高度信息矩阵，计算目标高度信息矩阵的均方差或算术平均获得不同尺度下的粗糙度，画出粗糙度‑测量尺度关系曲线A，截取A的线性区域并从中选取任一尺度L0′重复前述步骤得到关系曲线B，关系曲线B的线性区域为[L0′*,L0′]；当A和B在区间内满足预设的重合条件时关系曲线A为目标关系模型，对于其线性区间内的任意尺度可以根据该模型快速得到粗糙度值。