变形镜
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103246058B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310195655.4

    申请日:2013-05-23

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种变形镜,所述变形镜包括:镜体;和至少一个制动器,所述制动器包括传动组件和步进电机,所述传动组件与所述镜体相连,所述步进电机与所述传动组件相连且驱动所述传动组件推动所述镜体以改变所述镜体的面形。根据本发明实施例的变形镜1具有调节精度高、成本低等优点。

    用于变形镜的驱动装置和变形镜

    公开(公告)号:CN103268012A

    公开(公告)日:2013-08-28

    申请号:CN201310222397.4

    申请日:2013-06-05

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种变形镜及其驱动装置。所述驱动装置包括:基座、前传递件和后传递件、驱动件、定位件、弹性件和微调旋钮。所述基座的前后表面上分别设有前安装槽和后安装槽,所述前传递件与所述后传递件相连且所述前传递件和所述后传递件分别设在所述前安装槽和所述后安装槽内,所述驱动件与所述后传递件相连,所述驱动件设在所述定位件上,所述弹性件设在所述前传递件与所述后传递件之间,所述微调旋钮与所述驱动件相连以便驱动所述驱动件在前后方向上移动。根据本发明实施例的驱动装置使用方便,结构紧凑,结构模块化,位移传递精密度高而且直线度高。

    波前相位校正装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104914569B

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201410085875.6

    申请日:2014-03-10

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及光学仪器领域,提供了三种波前相位校正装置。针对现有技术中连续表面变形镜阵列密度受限、波前校正效果有限且制造工艺要求高、制造成本高的问题,本发明将一个完整的多致动器致动的连续表面变形镜分割成多个由单致动器或小数目致动器组致动的连续表面变形镜单元,并对于不同的应用情形,提供了单点单层式、单点双层式和多点式的波前相位校正装置,能够增大波前相位校正的等效致动器密度,从而优化了波前相位校正效果,简化了连续表面变形镜的制造工艺、降低制作成本。

    激光光束调制系统
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103412403B

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201310303934.8

    申请日:2013-07-18

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种激光光束调制系统,包括:激光器和至少一个激光光束调制机构,其中,激光器用于发出激光光束。每个激光光束调制机构均包括:光束调制装置和角度调整支架,光束调制装置用于对光束进行调制,光束调制装置设在角度调整支架上以由角度调整支架驱动旋转。根据本发明的激光光束调制系统,可通过调整光束调制装置的位置调整激光光束射入光束调制装置的入射角,从而提高激光光束调制系统的调制能力,又由于每个激光光束调制机构都设有角度调整支架,从而可实现对激光光束的光斑面积的精确调整。由于激光光束调制机构的数量可合理增加,从而可大幅度提高激光光束调制系统的调制能力。

    用于变形镜的驱动装置和变形镜

    公开(公告)号:CN103268012B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201310222397.4

    申请日:2013-06-05

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种变形镜及其驱动装置。所述驱动装置包括:基座、前传递件和后传递件、驱动件、定位件、弹性件和微调旋钮。所述基座的前后表面上分别设有前安装槽和后安装槽,所述前传递件与所述后传递件相连且所述前传递件和所述后传递件分别设在所述前安装槽和所述后安装槽内,所述驱动件与所述后传递件相连,所述驱动件设在所述定位件上,所述弹性件设在所述前传递件与所述后传递件之间,所述微调旋钮与所述驱动件相连以便驱动所述驱动件在前后方向上移动。根据本发明实施例的驱动装置使用方便,结构紧凑,结构模块化,位移传递精密度高而且直线度高。

    一种透射反射式波前阵面控制装置

    公开(公告)号:CN103323945A

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201310239659.8

    申请日:2013-06-17

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及自适应光学领域,具体是一种透射反射式波前阵面控制装置,其包括由上至下依次设置的变形镜片、底座和动力件,所述变形镜片在与所述底座接触一侧表面上设有反射膜;所述动力件通过温度调节使所述底座发生形变而带动所述变形镜片的目标区域发生形变,同时使所述变形镜片的目标区域的折射率改变。本发明通过改变变形镜片目标区域内的膨胀厚度和折射率,从而使待校正光束发生光程改变,改变了待校正光束的波前阵面。本发明对待校正的调节能够达到较高精度,且该透射反射式波前阵面控制装置的调节结构简单,提高了调节精度和校正能力;响应速度快,降低能耗节约成本。

    变形镜镜体安装组件

    公开(公告)号:CN103268011B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201310221355.9

    申请日:2013-06-05

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种变形镜镜体安装组件,包括:镜体,所述镜体第一面形成为平面,所述镜体第二面形成有多个间隔开布置的镜腿;吸气管;和吸力座,所述吸力座的第一面形成有与所述镜体适配的安装槽,所述安装槽的底面形成为平面,所述吸力座的第二面形成有与所述吸气管的管口适配的吸气口,所述吸力座内设有吸气管道,所述吸气管道的第一端与所述吸气口连通且所述吸气管道的第二端与所述安装槽连通。根据本发明实施例的变形镜镜体安装组件,通过在吸力座上设置吸气管道,吸气管道通过真空泵吸气完成镜体的安装,使镜体吸入安装槽内后平面度得到控制,提高变形镜机构的初始面形,从而提高变形镜的质量。

    边界温度控制阵列型波前控制装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN103364944B

    公开(公告)日:2016-02-24

    申请号:CN201310300913.0

    申请日:2013-07-17

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种边界温度控制阵列型波前控制装置,包括:镜片(1)、底座(2)、热沉(3)以及加热制冷单元(4),其中,所述镜片(1)安装在所述底座(2)的一侧,所述热沉(3)以及加热制冷单元(4)安装在所述底座(2)的另一侧。本发明提供的边界温度控制阵列型波前控制装置可以改变能动光学的光学元件面形和提高校正能力,并且当改变与波前阵面区域一致的加热\制冷单元周围的热沉局部导热情况后可以改变不同温度点或相同温度点的形变幅度。本发明结构简单,调节精度高,响应速度快。

    位移调节装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103278910B

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201310242020.5

    申请日:2013-06-18

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种位移调节装置,包括:支架、导向组件、微调组件、微位移计和驱动组件。具体而言,所述导向组件设在所述支架上;所述微调组件沿第一直线方向和第二直线方向可移动地设在所述导向组件上;所述微位移计沿第三直线方向可移动地设在所述微调组件上,其中所述第一直线方向,所述第二直线方向及所述第三直线方向相互垂直;用于驱动所述微调组件移动的驱动组件,所述驱动组件分别与所述导向组件和所述微调组件相连。根据本发明实施例的位移调节装置,可应用于快速、高效、精密检测变形镜各致动点的微位移量,从而达到较高的应力调节精度。

    一种变形镜
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103091834B

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201310054856.2

    申请日:2013-02-20

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明提出一种变形镜,包括:镜体、包括至少一个致动通道的基座和至少一个致动装置,致动装置一一对应地安装与致动通道中,用于控制镜体变形,其中致动装置包括:推进器,该推进器用于对镜体施加作用力;致动器,当致动器伸展时推动推进器产生正向位移;碟簧,该碟簧位于推进器与致动器之间,当致动器收缩时推动推进器产生负向位移;锥形顶杆,该锥形顶杆的大直径面开有和致动器尾端相配合的定位孔,定位孔用于固定致动器,以防止致动器受到径向剪切力;以及微调旋钮,通过旋转微调按钮来调节致动通道内的预紧力。根据本发明的变形镜,保护了内部压电陶瓷部件,具有耐用可靠、易于安装的优点。

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