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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109300783A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811068429.9
申请日：2018-09-13
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/306
Abstract: 本发明公开了图形片晶圆的抛光方法和适于对图形片晶圆中钌阻挡层进行抛光的抛光液。其中，抛光方法包括：(1)利用第一抛光液对所述金属层依次进行第一抛光处理和第二抛光处理；(2)利用第二抛光液对所述钌阻挡层进行第三抛光处理，得到抛光后图形片晶圆。该抛光方法适于对具有钌阻挡层互连结构的图形片晶圆进行化学机械抛光，实现晶圆中金属层、钌阻挡层和介质层中不同材料的选择性去除，获得良好的抛光后表面与界面质量，抛光后晶圆具有较高的全局和局部平坦化以及较低的表面缺陷。
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公开(公告)号：CN108410424A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810440980.5
申请日：2018-05-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用，其中，制备方法包括：(1)测量二氧化铈纳米粉体的吸水率；(2)配制镧系金属硝酸盐溶液，并对所述二氧化铈纳米粉体进行等体积浸渍、陈化、烘干、焙烧和研磨，以便得到所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒。采用该方法不仅可以有效制备得到镧系金属元素掺杂的二氧化铈纳米磨粒，而且利用该镧系金属元素掺杂的二氧化铈纳米磨粒对介质材料进行化学机械抛光，可以在低磨粒含量下实现较高的材料去除速率和抛光后表面质量，尤其能使介质材料在碱性条件下兼具较高的抛光速率和表面质量，从而实现理想的化学机械抛光效果。
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公开(公告)号：CN116023502A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202210175605.9
申请日：2022-02-25
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种嵌合抗原受体(CAR)，其包含胞外结构域、跨膜结构域和胞内结构域，其中所述嵌合抗原受体还表达延胡索酸水合酶FH。通过共表达FH，本发明的嵌合抗原受体的抗肿瘤作用得以增强。以CD19抗体为例，共表达FH的抗CD19嵌合抗原受体用于修饰免疫细胞，修饰后的免疫细胞能更高效的用于表面CD19阳性的肿瘤的治疗。
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公开(公告)号：CN112680106A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011527788.3
申请日：2020-12-22
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了贻贝蛋白‑石墨烯复合涂料和对金属材料进行表面处理的方法。其中，贻贝蛋白‑石墨烯复合涂料的有效成分为贻贝蛋白和石墨烯，所述贻贝蛋白和所述石墨烯的质量比为(0.1～1)：(0.05～0.3)。该复合涂料无需添加其它树脂成膜物质和有机溶剂，仅通过调节贻贝蛋白和石墨烯的相对用量即可使复合涂料涂层兼具优异的耐腐蚀性、润滑特性、耐磨失效特性和基体粘附特性，不仅绿色环保，还可广泛应用于金属材料的防腐、润滑、耐磨等领域。
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公开(公告)号：CN108410424B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810440980.5
申请日：2018-05-10
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用，其中，制备方法包括：(1)测量二氧化铈纳米粉体的吸水率；(2)配制镧系金属硝酸盐溶液，并对所述二氧化铈纳米粉体进行等体积浸渍、陈化、烘干、焙烧和研磨，以便得到所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒。采用该方法不仅可以有效制备得到镧系金属元素掺杂的二氧化铈纳米磨粒，而且利用该镧系金属元素掺杂的二氧化铈纳米磨粒对介质材料进行化学机械抛光，可以在低磨粒含量下实现较高的材料去除速率和抛光后表面质量，尤其能使介质材料在碱性条件下兼具较高的抛光速率和表面质量，从而实现理想的化学机械抛光效果。
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