公开(公告)号：CN109231153A

公开(公告)日：2019-01-18

申请号：CN201810959206.5

申请日：2018-08-22

Applicant: 深圳市奥极医疗科技有限公司

Inventor： 徐婧 ,  袁轶娟

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  G01P15/00

CPC classification number: B81B7/0058 ,  B81B2201/0235 ,  B81C1/00047 ,  B81C1/00261 ,  B81C1/00888 ,  B81C3/001 ,  G01P15/00

Abstract: 本发明提供一种微加速度传感器的芯片级封装结构，包括盖板单晶硅圆片、微加速度传感器结构，微加速度传感器结构上的金属引线通过盖板单晶硅圆片的凸点转移到盖板单晶硅圆片上，盖板单晶硅圆片下部的空腔通过圆片对准键与所述微加速度传感器结构形成一个密封的真空腔体结构，本发明的有益效果在于：采用圆片级封装将微加速度传感器进行封装组合，可以大大提高器件封装效率，封装后器件的体积也可以大大减小，并且封装后器件可以通过贴片的方式与外围电路连接，不需要采用金属管壳，封装成本亦可大大降低；同时，由于在芯片分割前，进行了封装，这就保护了器件的敏感元件不受后续工艺的影响，提高了器件的成品率。