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公开(公告)号：CN112520699A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011385329.6
申请日：2020-12-01
申请人： 深圳市博纯半导体材料有限公司 , 博纯材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种砷烷的合成提纯方法，包括：步骤一：将锌粉和砷粉放入石英器皿内混合均匀再置于不锈钢反应罐内抽真空并充入高纯惰性气体，加压加热得到砷化锌粉末；步骤二，砷化锌粉末至于反应器中，加入稀硫酸反应生成粗制砷烷气体；步骤三，将粗制砷烷气体通入吸附装置得到砷烷气体；步骤四，使用液氮冷阱捕集砷烷气体，使砷烷气体冷凝为液态砷烷，使用真空泵抽去不凝气体并取下冷肼外的液氮罐，使砷烷挥发，得到纯净的砷烷气体；步骤五：将纯净的砷烷气体通入预先处理过的洁净钢瓶中进行保存，得到成品。能够有效减少砷烷气体内的杂质，提高本发明所述砷烷的纯度，同时，将吸附剂的加入和分子筛的选择放在一个装置内进行能够提高反应效率。
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公开(公告)号：CN112452278A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011380643.5
申请日：2020-12-01
申请人： 深圳市博纯半导体材料有限公司 , 博纯材料股份有限公司
摘要： 本发明提供一种乙硼烷合成系统及方法。所述乙硼烷合成系统包括罐体、罐盖、电磁搅拌器、排液管、气压传感器、进料管、第一排气管、第二排气管、保温层和控制器，所述罐体顶部封装固定有罐盖，所述罐盖表面连接有进料管、第一排气管和第二排气管，且罐盖表面安装有气压传感器，所述罐体内部底端安装有电磁搅拌器，所述罐体底部边缘连接有排液管，所述罐体外壁安装有控制器。本发明采用调压器对罐体内部进行及时的气压调节，有效避免反应生成气体与频繁进出气体对反应环境的气压影响，极大保障反应的稳定性，同时采用恒温器和供气装置对设备内部气体进行循环稳定调节，配合气体直接均匀的喷入反应液中，极大提高稳定调节的效率与均匀性。
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公开(公告)号：CN112452278B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202011380643.5
申请日：2020-12-01
申请人： 深圳市博纯半导体材料有限公司 , 博纯材料股份有限公司
摘要： 本发明提供一种乙硼烷合成系统及方法。所述乙硼烷合成系统包括罐体、罐盖、电磁搅拌器、排液管、气压传感器、进料管、第一排气管、第二排气管、保温层和控制器，所述罐体顶部封装固定有罐盖，所述罐盖表面连接有进料管、第一排气管和第二排气管，且罐盖表面安装有气压传感器，所述罐体内部底端安装有电磁搅拌器，所述罐体底部边缘连接有排液管，所述罐体外壁安装有控制器。本发明采用调压器对罐体内部进行及时的气压调节，有效避免反应生成气体与频繁进出气体对反应环境的气压影响，极大保障反应的稳定性，同时采用恒温器和供气装置对设备内部气体进行循环稳定调节，配合气体直接均匀的喷入反应液中，极大提高稳定调节的效率与均匀性。
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公开(公告)号：CN112158847A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202011274073.1
申请日：2020-11-14
申请人： 深圳市博纯半导体材料有限公司 , 博纯材料股份有限公司
IPC分类号： C01B33/04
摘要： 本发明涉及一种乙硅烷的生产提纯工艺，该乙硅烷的生产提纯工艺包括检测与所述反应釜连接的吸附管道的底面内壁上设置的压力感应器的在预设时间周期内的数值变化，所述反应釜上还设置有气体出口，将第一反应溶液和第二反应溶液进行化学反应生成的生成物利用气体出口通过导气管导入吸附管道内；根据所述数值变化，调节设置在第一进液口上的第一阀和设置在第二进液口上的第二阀，所述第一阀、所述第二阀和所述压力感应器分别与控制单元连接，所述控制单元设置在所述反应釜的外壁上，以调节所述反应釜内第一反应溶液和第二反应溶液的添加量。本发明可以提高乙硅烷的产出率其能够提高纯度。
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公开(公告)号：CN112250050B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202011160299.9
申请日：2020-10-27
申请人： 深圳市博纯半导体材料有限公司 , 博纯材料股份有限公司
IPC分类号： C01B23/00
摘要： 本发明提供一种氙气生产制备装置及方法，所述氙气生产制备包括罐体，所述罐体顶部开设有进料管，且罐体底部开设有排料管，所述罐体内部转动安装有丝杠，且丝杠外部传动安装有可封装混合钯触媒的载媒器，所述罐体内壁开设有螺旋槽，所述载媒器的边缘固定有滚球，且滚球与螺旋槽滚动卡接，所述罐体端部安装有可联动压力控制密封的密封器，且丝杠转动穿过密封器连接有电机，所述载媒器的边缘均安装有传料装置，针对于传统固定式的媒接触方式，采用载媒器对钯触媒承载，极大提高媒与液氧的接触效率，从而提高反应效率，同时通过密封器的双重密封，保障整个反应环境的密封效果，相对于传统的密封方式更加紧密、稳定。
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公开(公告)号：CN112250050A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011160299.9
申请日：2020-10-27
申请人： 深圳市博纯半导体材料有限公司
IPC分类号： C01B23/00
摘要： 本发明提供一种氙气生产制备装置及方法，所述氙气生产制备包括罐体，所述罐体顶部开设有进料管，且罐体底部开设有排料管，所述罐体内部转动安装有丝杠，且丝杠外部传动安装有可封装混合钯触媒的载媒器，所述罐体内壁开设有螺旋槽，所述载媒器的边缘固定有滚球，且滚球与螺旋槽滚动卡接，所述罐体端部安装有可联动压力控制密封的密封器，且丝杠转动穿过密封器连接有电机，所述载媒器的边缘均安装有传料装置，针对于传统固定式的媒接触方式，采用载媒器对钯触媒承载，极大提高媒与液氧的接触效率，从而提高反应效率，同时通过密封器的双重密封，保障整个反应环境的密封效果，相对于传统的密封方式更加紧密、稳定。
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公开(公告)号：CN116437057B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310695845.6
申请日：2023-06-13
申请人： 博纯材料股份有限公司
摘要： 本发明提供的乙硼烷生产监控系统的系统优化方法及系统，涉及数据处理技术领域。在本发明中，提取目标生产监控系统依据第一监控参数对乙硼烷生产系统生产的乙硼烷产物进行视频监控得到的乙硼烷产物监控视频。利用乙硼烷产物质量识别神经网络，对乙硼烷产物监控视频包括的乙硼烷产物监控视频帧进行识别处理，以输出对应的至少两个产物质量识别结果。依据至少两个产物质量识别结果之间的差异，对目标生产监控系统的第一监控参数进行更新，使得目标生产监控系统依据第二监控参数对乙硼烷生产系统生产输出的乙硼烷产物进行视频监控。基于上述内容，可以在一定程度上提高对乙硼烷生产监控系统进行管控的效果。
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公开(公告)号：CN111825058A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010830685.8
申请日：2020-08-18
申请人： 博纯材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于分子筛自动活化的锗烷制备方法，包括以下步骤：将锗化镁和氯化铵按物质的量之比1∶3.5-7均匀混和后，装入锗烷发生器；将锗烷发生器抽真空至8Pa以下，通入液氨，所述液氨的通入量为氯化铵重量的6-12倍，反应时间为45-72min；反应完全后将生成的混合气体经分子筛提纯，以得到锗烷；获取分子筛提纯持续时长，判定该持续时长达到预设值，则发出活化指令，以便活化系统开启并进入分子筛活化步骤。其解决了现有技术在锗烷制备提纯过程中无法自动活化分子筛导致的工期延误、成本增加的技术问题。
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公开(公告)号：CN116610104B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310884873.2
申请日：2023-07-19
申请人： 博纯材料股份有限公司
IPC分类号： G05B23/02 , G06F18/213 , G06N3/044 , G06N3/08 , G06N5/02 , G06F18/23 , G06F18/24 , G06F18/2433
摘要： 本申请实施例提供一种基于砷烷合成控制系统的故障分析方法及系统，涉及人工智能技术领域，能够使用训练用异常控制行为数据、与训练用异常控制行为数据对应的故障时域特征数据和故障空域特征数据对故障预测神经网络进行循环网络权重参数更新，从而可以更准确地定位故障特征数据的位置，提高故障预测效果，并且还通过基于与目标故障预测结果对应的第一故障知识图数据和第三故障知识图数据，以及与训练用异常控制行为数据对应的第二故障知识图数据对循环网络权重参数更新后的故障预测神经网络进行扩展网络权重参数更新，以提高故障预测神经网络的性能。
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公开(公告)号：CN116610104A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310884873.2
申请日：2023-07-19
申请人： 博纯材料股份有限公司
IPC分类号： G05B23/02 , G06F18/213 , G06N3/044 , G06N3/08 , G06N5/02 , G06F18/23 , G06F18/24 , G06F18/2433
摘要： 本申请实施例提供一种基于砷烷合成控制系统的故障分析方法及系统，涉及人工智能技术领域，能够使用训练用异常控制行为数据、与训练用异常控制行为数据对应的故障时域特征数据和故障空域特征数据对故障预测神经网络进行循环网络权重参数更新，从而可以更准确地定位故障特征数据的位置，提高故障预测效果，并且还通过基于与目标故障预测结果对应的第一故障知识图数据和第三故障知识图数据，以及与训练用异常控制行为数据对应的第二故障知识图数据对循环网络权重参数更新后的故障预测神经网络进行扩展网络权重参数更新，以提高故障预测神经网络的性能。
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