公开(公告)号：CN109943815A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201910281910.4

申请日：2019-04-09

申请人： 深圳市华星光电技术有限公司

发明人： 黎亚峰

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，包括功能腔室、传送机构和防护门，所述功能腔室设置于所述传送机构侧面，在所述传送机构两侧设置有两个防护门，并在两个所述防护门上均设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，同时只有在完全停止所述传送机构后才能开启所述防护门；有益效果：通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。

公开(公告)号：CN109943815B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN201910281910.4

申请日：2019-04-09

申请人： 深圳市华星光电技术有限公司

发明人： 黎亚峰

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，包括功能腔室、传送机构和防护门，所述功能腔室设置于所述传送机构侧面，在所述传送机构两侧设置有两个防护门，并在两个所述防护门上均设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，同时只有在完全停止所述传送机构后才能开启所述防护门；有益效果：通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。