公开(公告)号：CN107706079A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201710868864.9

申请日：2017-09-22

申请人： 深圳市创新维度科技有限公司

发明人： 朱剑豪 ,  童丽萍 ,  江敏 ,  傅劲裕 ,  李鹏辉

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32412 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32504

摘要： 本发明公开了一种等离子体注入腔室内衬结构，包括可拆卸式固定在等离子体注入腔室内的侧壁和顶壁，所述侧壁由至少十个基板和两个透明基板沿圆周方向首尾相接组合构成，两个所述透明基板左右对称分布，所述顶壁包括呈正十二边形的基板和十二个呈扇形的基板拼接组合构成，内衬的侧壁和顶壁由多块基板拼接组合构成，可以根据实际处理生物材料的需求，灵活快速地更换选择不同特性涂层的基板，充分地防止内壁元素被溅射到样品中，造成样品的注入污染。

公开(公告)号：CN107706078A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201710867127.7

申请日：2017-09-22

申请人： 深圳市创新维度科技有限公司

发明人： 朱剑豪 ,  童丽萍 ,  高明 ,  傅劲裕

IPC分类号： H01J37/32

CPC分类号： H01J37/32412 ,  H01J37/32715

摘要： 本发明公开了一种全方位等离子体浸没离子注入装置，包括离子注入腔室和设置在离子注入腔室内的用以垂直固定待处理基片的靶台，在靶台上位于边缘部分左右对称分别设有夹持机构，靶台边缘左右两侧分别具有夹持机构以将待处理基片垂直固定在靶台中心处，使得待处理基片正反两面全方位处于等离子体氛围中，能有效避免传统技术中离子注入基片的边缘效应，使得离子注入更加均匀；而且，由于待处理基片一次性完成正反两面离子注入处理，降低了两次处理的差异性，进一步提升了处理效果的均匀性。