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1.

发明授权
一种曲面工件超精密抛光方法有权转让

公开(公告)号：CN108177029B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201810050346.0

申请日：2018-01-18

申请人： 深圳市佳欣纳米科技有限公司

发明人： 蒋秋菊

IPC分类号： B24B1/00 , B24B35/00

摘要： 本发明涉及一种曲面工件超精密抛光方法，涉及超精密加工领域。一种曲面工件超精密抛光方法，所述方法为：室温下，将工件先后置于抛光液I和II中，并控制抛光液以一定流速流经工件的待抛光面，持续处理至少5min，所述抛光液I和II按质量百分比，包括1~25%的磨料和75~99%的基液；所述抛光液I所用磨料为氧化铝晶须、SiC晶须、ZnO晶须、碳纤维；所述抛光液II所用磨料为平均粒径为0.5~50微米的超硬材料颗粒。利用上方法可以有效去除材料表面不同程度的凸起，获得好的抛光效果。