公开(公告)号：CN102640249A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201080051447.1

申请日：2010-11-10

Applicant: 浦项工科大学校产学协力团

Inventor： 金俊源 ,  孙晟儫 ,  严淳永 ,  朴优成 ,  白承凡

IPC: H01H35/26 ,  H01H35/24

CPC classification number: H01H29/28 ,  H01H59/0009 ,  H01H2029/008

Abstract: 本发明提供了使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关，该RF MEMS开关能够被快速地操作且对冲击和运动是稳固的。根据本发明的一个实施方式，使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关包括：第一层构件，其包括信号传输线；第二层构件，其布置在第一层构件上，形成室以便通过处理信号传输线而引起精细液态金属熔滴的形状变化，并且在室的一侧上形成通孔，以便使信号传输线与形状在室中被改变的精细液态金属熔滴接触或不接触；操作构件，其布置在第二层构件上，且定位在室的开口侧上，以便通过室的开口侧将形状变化的能力提供给精细液态金属熔滴；以及第三层构件，其调整操作构件的位置，并且与第一层构件和第二层构件耦合。

公开(公告)号：CN102640249B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201080051447.1

申请日：2010-11-10

Applicant: 浦项工科大学校产学协力团

Inventor： 金俊源 ,  孙晟儫 ,  严淳永 ,  朴优成 ,  白承凡

IPC: H01H35/26 ,  H01H35/24

CPC classification number: H01H29/28 ,  H01H59/0009 ,  H01H2029/008

Abstract: 本发明提供了使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关，该RF MEMS开关能够被快速地操作且对冲击和运动是稳固的。根据本发明的一个实施方式，使用精细液态金属熔滴的RF MEMS开关包括：第一层构件，其包括信号传输线；第二层构件，其布置在第一层构件上，形成室以便通过处理信号传输线而引起精细液态金属熔滴的形状变化，并且在室的一侧上形成通孔，以便使信号传输线与形状在室中被改变的精细液态金属熔滴接触或不接触；操作构件，其布置在第二层构件上，且定位在室的开口侧上，以便通过室的开口侧将形状变化的能力提供给精细液态金属熔滴；以及第三层构件，其调整操作构件的位置，并且与第一层构件和第二层构件耦合。