公开(公告)号：CN113454750B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN201980092544.6

申请日：2019-11-22

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 浜名康全 ,  渡边宏之 ,  嶋野贤志 ,  西泽宽仁

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J9/22 ,  H01J1/70 ,  H01J29/28

摘要： 荧光体面板的制造方法包括：在出射窗上形成具有多个荧光体颗粒的荧光体层的工序；在荧光体层上形成有机膜的工序；在有机膜上形成金属反射膜的工序；通过烧成除去有机膜的工序；以及通过原子层沉积法形成一体地覆盖金属反射膜的表面和荧光体颗粒的表面的氧化物膜的工序。

公开(公告)号：CN113454750A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201980092544.6

申请日：2019-11-22

申请人： 浜松光子学株式会社

发明人： 浜名康全 ,  渡边宏之 ,  嶋野贤志 ,  西泽宽仁

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J9/22 ,  H01J1/70 ,  H01J29/28

摘要： 荧光体面板的制造方法包括：在出射窗上形成具有多个荧光体颗粒的荧光体层的工序；在荧光体层上形成有机膜的工序；在有机膜上形成金属反射膜的工序；通过烧成除去有机膜的工序；以及通过原子层沉积法形成一体地覆盖金属反射膜的表面和荧光体颗粒的表面的氧化物膜的工序。