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公开(公告)号:CN111989784A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN201980026029.8
申请日:2019-04-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L31/0232
Abstract: 本发明提供一种受光元件,其具备:具有包含受光部和遮光部的第一面的半导体部;以及设置于所述遮光部上的用于遮光的金属膜,所述金属膜具有面向与所述第一面相反一侧且接受光的入射的第二面,在所述第二面形成有多个凹部,所述凹部的内表面包含以沿所述第二面的方向的所述凹部的尺寸随着从所述第二面朝向所述凹部的底部而缩小的方式弯曲的曲面部。