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公开(公告)号：CN216465474U
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202121972507.5
申请日：2021-08-21
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及硅棒加工领域，尤其是涉及一种环线切割机构和全自动单晶硅棒环线切方加工设备。该环线切割机构包括：环线切割组件，环线切割组件具有两个，环线切割组件可移动的连接于机架，两环线切割组件之间形成切割空间；驱动组件，驱动组件用于驱动环线切割组件在机架上移动。本申请中切割驱动件作用于环线切割组件上，使得两环线切割组件之间的距离可调节，针对不同尺寸的硅棒，通过调节两环线切割组件之间的距离，使得开方设备能够对不同尺寸的硅棒进行开方，解决了现有技术中开方机的适用范围局限的技术问题；达到开方机可适用于各种尺寸的晶棒的技术效果。
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公开(公告)号：CN221270680U
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202322862166.1
申请日：2023-10-24
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种晶棒上料装置及磨削设备，属于晶硅加工技术领域，解决了现有技术硅棒磨削量较大的问题。本实用新型包括底座；夹持组件，所述夹持组件设置于所述底座上，用于夹持晶棒；检测组件，所述检测组件设置于所述底座或夹持组件上，用于检测晶棒轴向的倾斜度；以及升降组件，所述升降组件设置于所述夹持组件一侧，所述升降组件包括至少两个驱动机构，至少两个所述驱动机构共同作用于所述晶棒，以带动所述晶棒在z轴方向升降和摆动。本实用新型通过设置检测组件可以检测得到晶棒轴向的倾斜度，并根据倾斜度信息，升降组件带动晶棒升降的同时，摆动以调整晶棒的倾斜度，使得磨削加工时，晶棒轴向各个位置具有相对应的磨削余量。
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公开(公告)号：CN221065892U
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202322614343.4
申请日：2023-09-26
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种晶棒检测装置及晶棒检测设备，属于晶硅加工技术领域，解决了现有技术无法适配半棒尺寸进行检测的问题。本实用新型包括检测单元，所述检测单元至少为2个，且所述检测单元在第一方向上排列布置，分别用于检测晶棒上的不同点位；第一驱动机构，所述第一驱动机构作用于检测单元，可带动所述检测单元在所述第一方向相互靠近或远离；以及第二驱动机构，所述第二驱动机构作用于检测单元或第一驱动机构，可带动检测单元或第一驱动机构靠近或远离所述晶棒。本实用新型通过第一驱动机构驱动以调节检测单元之间的间距，完成不同尺寸晶棒的检测适配，特别是兼容半棒和整棒两种尺寸类型。
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公开(公告)号：CN220922011U
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202322614073.7
申请日：2023-09-26
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种夹头及夹持组件，属于晶硅加工技术领域，解决了现有技术夹头夹持时无法与晶棒端面紧贴的问题。本实用新型包括固定模块；转动模块，所述转动模块相对于固定模块转动设置，且所述转动模块具有顶压端，所述顶压端用于顶压待加工件；以及弹性模块，弹性模块具有第一部分和第二部分，第一部分可与所述固定模块抵接或连接，所述第二部分可与所述转动模块抵接或连接。本实用新型通过顶压端顶压待加工件，使得弹性模块的第二部分产生偏向形变，以实现顶压端与待加工件的紧贴，保证待加工件磨削加工时具有较高的精度和质量；通过设置粗糙层和/或粘接层，可增加顶压端与待加工件之间的摩擦力和/或粘接力，从而防止滑动错位。
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公开(公告)号：CN220922010U
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202322613749.0
申请日：2023-09-26
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种夹持体及夹持装置，属于晶硅加工技术领域，解决了现有技术夹头夹持时无法与晶棒端面紧贴的问题。本实用新型包括固定组件；活动组件，所述活动组件包括：活动单元，所述活动单元活动设置于所述固定组件上，活动单元具有一顶压端，所述顶压端用于顶压工件；弹性单元，弹性单元设置于所述固定组件与活动单元之间，可使所述活动单元始终具有与所述工件相抵的趋势；其中，活动组件至少具有2组，各组所述活动组件的顶压端可分别作用于所述工件表面的不同区域。本实用新型通过设置多组活动组件并分别配置可以活动的活动单元以及具有弹性的弹性单元，弹性单元可使活动单元的位置或者角度随工件的平面度变化而适应性调整。
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公开(公告)号：CN218664130U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202121972502.2
申请日：2021-08-21
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B65G47/90
摘要： 本实用新型涉及运输机构的领域，尤其是涉及一种旋转式上料机械手，包括：基座；机械手组件，所述机械手组件包括：支撑座，所述支撑座转动连接于所述基座；第一驱动件，所述第一驱动件连接并作用于所述支撑座，所述第一驱动件用于驱动所述支撑座相对于所述基座转动；以及机械手本体，所述机械手本体固定于所述支撑座。本申请将机械手本体通过支撑座转动连接在基座上，在上料过程中通过支撑座受力，减小机械手本体受力负荷，减小对机械手本体机械磨损，提高机械手本体的上料的重复精度，解决了现有技术中机械手的上下料精度较低的技术问题；达到提高机械手的上下料精度的技术效果。
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公开(公告)号：CN218640050U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202121972506.0
申请日：2021-08-21
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及开方机的机构领域，尤其是涉及一种边皮分离装置。包括：夹持驱动机构，夹持驱动机构具有两组，每组夹持驱动机构包括：座体；抵触部，抵触部滑移连接于座体，每组夹持驱动机构上的抵触部对向设置，用于抵触于待切割成边皮的长度方向的两端；驱动部，驱动部固定连接于座体，驱动部作用于抵触部，使得切割后抵触部带动边皮沿远离方棒的方向运动。本申请通过第一抵触部和第二抵触部抵触在边皮的两端上，在开方切割结束后，驱动部带动夹持的边皮移动，进而将边皮和方棒相互分离，方便退刀。解决了现有技术中在开方过程中退刀不便的技术问题；达到将边皮和方棒撑开而方便退刀的技术效果。
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