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发明授权
基于MEMS的高光谱系统及光谱仪有权转让

公开(公告)号：CN114485937B

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202210060903.3

申请日：2022-01-19

Applicant: 浙江数翰科技有限公司

Inventor： 薛原 , 赵瑞凡 , 凌明 , 韩中旭

IPC: G01J3/28 , G01J3/02 , G01J3/06

Abstract: 本发明涉及高光谱成像技术，公开了基于MEMS的高光谱系统及光谱仪，其包括光源(121)和光束处理单元，MEMS扫描微镜(151)，MEMS扫描微镜(151)为阵列式的扫描微镜；光源(121)经光束处理单元处理后的光束(142)进入MEMS扫描微镜(151)，光束(142)通过MEMS扫描微镜(151)按照需求依次反射；干涉系统(160)包括MEMS平动微镜(163)，MEMS扫描微镜(151)反射后的光束(142)进入MEMS平动微镜(163)，MEMS平动微镜(163)对光束(142)进行调制并反射；本发明设计的光谱仪其体积小、分辨率高、稳定性好，而且成本低。

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