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公开(公告)号：CN111682397A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010655837.5
申请日：2020-07-09
申请人： 浙江师范大学
摘要： 本发明公开了一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置及方法。本发明将激光系统产生的两束基频光以小角度斜入射至混频系统中的聚焦透镜的边缘，四波混频产生的真空紫外光及残留的基频光因在同一介质中的折射率不同而以不同角度从聚焦透镜中出射，从而将真空紫外光与基频光进行分离，此设计在保证真空紫外光源单色性的同时，因无需增加额外的光学元件而使真空紫外光源的能量损耗降至最小；当需要改变真空紫外光源波长之时，除改变基频光的波长之外，只需调节透镜偏离中心位置的距离，而基频光的入射方向及真空紫外光源的出射方向始终不变，从而简化了将基频光引入混频系统的光路系统，也使所输出的真空紫外光源兼具可调谐性及可准直性。
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公开(公告)号：CN112146754A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202011130309.4
申请日：2020-10-21
申请人： 浙江师范大学
摘要： 本发明涉及一种在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置。本发明中的第一电离室和第二电离室均由真空腔室和真空泵组成，真空腔室由真空泵独立抽真空；第一电离室和第二电离室均安装有真空计和针阀；第一电离室内还配备电阻温度计，用于检测第一电离室内的环境温度。本发明中的带电粒子检测器包括离子约束电极板，加速电极板，分裂电极板，电流计，微型通道电子倍增管以及示波器。本发明对待测激光的脉冲能量及其空间位置信息实现同时在线无损检测，简化了检测的操作流程，兼顾了激光的检测与使用，使检测装置后端的用户用光效率大为提高，所获取的待测激光的检测参数更具时效性和精确性。
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公开(公告)号：CN212871466U
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202022352060.3
申请日：2020-10-21
申请人： 浙江师范大学
摘要： 本实用新型涉及一种在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置。本实用新型中的第一电离室和第二电离室均由真空腔室和真空泵组成，真空腔室由真空泵独立抽真空；第一电离室和第二电离室均安装有真空计和针阀；第一电离室内还配备电阻温度计，用于检测第一电离室内的环境温度。本实用新型中的带电粒子检测器包括离子约束电极板，加速电极板，分裂电极板，电流计，微型通道电子倍增管以及示波器。本实用新型对待测激光的脉冲能量及其空间位置信息实现同时在线无损检测，简化了检测的操作流程，兼顾了激光的检测与使用，使检测装置后端的用户用光效率大为提高，所获取的待测激光的检测参数更具时效性和精确性。
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公开(公告)号：CN212210000U
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202021335700.3
申请日：2020-07-09
申请人： 浙江师范大学
摘要： 本实用新型公开了一种波长可调谐的单色真空紫外光源输出装置。本实用新型由混频系统、激光系统以及检测系统所组成。混频系统主要包括可调式混频池、固定式混频池以及配气系统。激光系统主要包括泵浦源、第一染料激光器以及第二染料激光器。检测系统主要包括真空腔体、真空泵、光源探测器以及观察窗。本实用新型将激光系统产生的两束基频光以小角度斜入射至混频系统中的聚焦透镜的边缘，四波混频产生的真空紫外光及残留的基频光因在同一介质中的折射率不同而以不同角度从聚焦透镜中出射，从而将真空紫外光与基频光进行分离，本实用新型在保证真空紫外光源单色性的同时，因无需增加额外的光学元件而使真空紫外光源的能量损耗降至最小。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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