公开(公告)号：CN117696514A

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202311582851.7

申请日：2023-11-24

Applicant: 浙江大学绍兴研究院

Inventor： 王曰海 ,  刘文娟 ,  戴庭舸 ,  景文闻 ,  谢燕

IPC: B08B3/08 ,  B08B3/12 ,  B08B3/10

Abstract: 本发明公开了一种用于激光切割AlN陶瓷基板的黑边清洗方法，用于清洗激光切割后AlN陶瓷基板产生的黑边，包括步骤S1：将激光切割后的AlN陶瓷基板完全浸泡在预设浓度的氢氧化钾溶液中，并且根据氢氧化钾溶液的预设浓度设置匹配的第一浸泡时间。本发明公开的一种用于激光切割AlN陶瓷基板的黑边清洗方法，在清洗过程中采用碱性溶液、有机溶剂和超纯水对AlN陶瓷基板进行大批量清洗，能够有效的去除附着于AlN陶瓷边缘的Al单质黑边，且步骤简单方便，清洗效果理想，而且不会对AlN陶瓷表面造成损伤，清洗后的AlN陶瓷基板完全满足正常工艺的要求，达到清洗效果。

公开(公告)号：CN221019229U

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202322629252.8

申请日：2023-09-27

Applicant: 浙江大学绍兴研究院

Inventor： 谢燕 ,  景文闻 ,  冯长春

IPC: B23K26/70 ,  B23K26/402 ,  B23K26/38

Abstract: 本实用新型公开了一种新型玻璃晶圆激光切割的承载装置，包括平台底座，平台底座的上方设有负压腔侧壁，负压腔侧壁的上端面固设有晶圆支撑架，负压腔侧壁呈圆环状，负压腔侧壁的底面与平台底座之间固定连接，且负压腔侧壁与平台底座的连接处密封，平台底座的底部设有泄压阀门，泄压阀门与负压腔侧壁所包围的空间相通，负压腔侧壁的一侧还安装有抽气阀门，抽气阀门与负压腔侧壁所包围的空间相通，本实用新型结构合理，抽气阀门一端与真空泵连接，设备工作时持续抽气，同时可调节泄压阀门来控制真空腔体内部与外界大气压差，实现对晶圆的固定，且晶圆与支撑装置之间的负压不会过大，防止爆炸。