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公开(公告)号：CN115315055B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210842203.X
申请日：2022-07-18
Applicant: 浙江大学湖州研究院
IPC: H05H1/30
Abstract: 本发明公开一种微波冷等离子体射流装置，包括腔体部分，微波耦合部分，调谐部分，电场调制部分；腔体部分为一端开放的双谐振腔结构，微波传输模式为TEM模式；微波耦合部分可以电导耦合、电容耦合、磁耦合等方式将微波能量耦合到腔体部分；电场调制部分由施加纳秒脉冲(或DC电压)的由绝缘层包裹的内电极实现。本发明基于微波冷等离子体臭氧生成量少、等离子体浓度更高、激发态粒子更丰富，以及纳秒脉冲(或DC)更易形成长直冷等离子体的特点，提出的一种微波冷等离子体射流方法，即在微波冷等离子体上施加辅助电场，利用辅助电场牵引带电粒子加速运动，延长射流的长度。
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